接着シート

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：三好秀和 , 三好保男 , 岩▲崎▼ 幸邦 , 栗原彰 , 川又澄雄 , 伊藤正和 , 高橋俊一 , 高松俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-291992
公開番号（公開出願番号）：特開2004-123963
出願日： 2002年10月04日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
要約：

【課題】剥離強度が時間経過とともに変化しない接着シートを提供する。【解決手段】粘着性を有する基材フィルムの片面にフィルム状接着剤層を積層してなる接着シートであって、積層後に-50°C〜100°Cで、1〜500時間保持し、その後の基材フィルムとフィルム状接着剤の放射線照射前及び放射線照射後の剥離力の変化が室温、1週間放置後に5%以下であることを特徴とする接着シート。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

粘着性を有する基材フィルムの片面にフィルム状接着剤層を積層してなる接着シートであって、積層後に-50°C〜100°Cで、1〜500時間保持し、その後の基材フィルムとフィルム状接着剤の放射線照射前及び放射線照射後の剥離力の変化が室温、1週間放置後に5%以下であることを特徴とする接着シート。

IPC (5件)：

C09J7/02 , C09J5/00 , C09J201/00 , H01L21/301 , H01L21/52

FI (5件)：

C09J7/02 Z , C09J5/00 , C09J201/00 , H01L21/52 E , H01L21/78 M

Fターム (46件)：

4J004AA04 , 4J004AA05 , 4J004AA10 , 4J004AA11 , 4J004AA12 , 4J004AA13 , 4J004AA14 , 4J004AA17 , 4J004AA18 , 4J004AB01 , 4J004AB04 , 4J004CA03 , 4J004CA04 , 4J004CA05 , 4J004CA06 , 4J004CC02 , 4J004CC03 , 4J004CD01 , 4J004CD07 , 4J004CD08 , 4J004FA05 , 4J004FA08 , 4J040CA011 , 4J040CA071 , 4J040DF001 , 4J040EB031 , 4J040EC041 , 4J040EC061 , 4J040EC071 , 4J040EC121 , 4J040EE061 , 4J040EF001 , 4J040EH031 , 4J040JA09 , 4J040JB02 , 4J040JB07 , 4J040JB09 , 4J040KA16 , 4J040MB03 , 4J040NA20 , 4J040PA23 , 4J040PA32 , 4J040PA42 , 5F047BA21 , 5F047BB03 , 5F047BB19

引用特許：

審査官引用 (12件)

ウェハ貼着用粘着シート及び半導体装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-020301 出願人：日立化成工業株式会社
表面保護フィルムおよびそれからなる積層体
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-281440 出願人：帝人株式会社
両面粘着テープの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-014431 出願人：積水化学工業株式会社

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