特許
J-GLOBAL ID：200903007950738359

液膜形成方法及び固形膜形成方法

発明者：
伊藤 信一

伊藤 信一 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-022382
公開番号（公開出願番号）：特開2003-224060
出願日： 2002年01月30日
公開日（公表日）： 2003年08月08日
要約：
【要約】【課題】薬液吐出ノズルから被処理基板に薬液を滴下させて液膜を形成された液膜の膜厚均一性の改善を図ること。【解決手段】 被処理基板11で一定量広がるように調整された薬液を、薬液吐出ノズル12に設けられた吐出口から基板11に対して連続的に吐出しつつ、ノズル12と基板11とを相対的に移動させ、基板11上に供給された薬液を留めて液膜を形成する液膜形成方法において、前記薬液吐出ノズル11と前記被処理基板12との相対的な移動は、ノズル12の吐出口と基板11との距離hを、2mm以上、且つ該薬液の表面張力γ(N/m)と該吐出口から連続的に吐出供給するときの吐出速度q(m/s)と、定数5×10-5(m・sec/N)とに対して与えられる5×10-5qγ未満の範囲内に設定して、行う。
請求項（抜粋）：
被処理基板で一定量広がるように調整された薬液を、薬液吐出ノズルに設けられた吐出口から該基板に対して連続的に吐出しつつ、該ノズルと該基板とを相対的に移動させ、該基板上に供給された薬液を留めて液膜を形成する液膜形成方法において、前記薬液吐出ノズルの吐出口と該被処理基板との距離hを、2mm以上、且つ該薬液の表面張力γ(N/m)と該吐出口から連続的に吐出される薬液の吐出速度q(m/sec)と、定数5×10-5(m・sec/N)とに対して与えられる5×10-5qγ(mm)未満の範囲内に設定して、前記薬液吐出ノズルと前記被処理基板との相対的な移動を行うことを特徴とする液膜形成方法。
IPC (5件)：
H01L 21/027 ,  B05D 1/26 ,  B05D 1/40 ,  B05D 3/00 ,  G03F 7/16
FI (5件)：
B05D 1/26 Z ,  B05D 1/40 A ,  B05D 3/00 B ,  G03F 7/16 ,  H01L 21/30 564 Z
Fターム (13件)：
2H025AB16 ,  2H025EA04 ,  4D075AC06 ,  4D075AC65 ,  4D075AC94 ,  4D075AC99 ,  4D075CA48 ,  4D075DA06 ,  4D075DC21 ,  4D075DC24 ,  4D075EA07 ,  5F046JA01 ,  5F046JA02
引用特許：
審査官引用 (10件)
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