特許
J-GLOBAL ID:200903008289068658
電気光学プロ-ブ
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
志賀 正武 (外7名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-275383
公開番号(公開出願番号):特開2000-171487
出願日: 1999年09月28日
公開日(公表日): 2000年06月23日
要約:
【要約】【課題】 プローブの細径化を図った電気光学プローブを提供する。【解決手段】 ビームスプリッタ5a、7aによって分離された光を反射面5c、7cによって90度折り返して、レーザダイオード9が発したレーザ光の光軸とフォトダイオード12、13へ入射する光の光軸を平行にすることによって、フォトダイオード12、13をレーザダイオード9と同一平面に配置する。これによって、プローブ本体15の直径方向にフォトダイオードを配置するスペースを省くことができる。
請求項(抜粋):
オシロスコープ本体の制御信号に基づいてレーザ光を発するレーザダイオードと、前記レーザ光を平行光にする第1のレンズと、前記平行光を集光する第2のレンズと、端面に反射膜を有する電気光学素子と、前記第1のレンズと前記第2のレンズの間に設けられ、前記レーザダイオードが発したレーザ光を通過させ前記レーザ光が前記反射膜によって反射された反射光を分離するアイソレータと、前記アイソレータにおいて分離された反射光を電気信号に変換するフォトダイオードと、を備える電気光学プローブにおいて、前記フォトダイオードへ入射する光の進む方向を前記レーザダイオードが配置された方向とし、該フォトダイオードをプローブの長さ方向に配置したことを特徴とする電気光学プローブ。
IPC (4件):
G01R 13/40
, G01R 1/06
, G01R 15/24
, G01R 31/302
FI (4件):
G01R 13/40
, G01R 1/06 F
, G01R 15/07 C
, G01R 31/28 L
引用特許:
出願人引用 (2件)
審査官引用 (7件)
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電気信号測定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-198360
出願人:日本電信電話株式会社
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信号波形測定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-281458
出願人:富士通株式会社
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複合プリズム及び光ディスクドライブ装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-036553
出願人:ソニー株式会社
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電界検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-249419
出願人:横河電機株式会社
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電圧測定装置のE-Oプローブ位置決め方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-054225
出願人:浜松ホトニクス株式会社, 財団法人光産業技術振興協会
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集積回路の試験装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-030718
出願人:株式会社テラテック
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電界検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-065175
出願人:横河電機株式会社
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