特許
J-GLOBAL ID：200903008619558398
超高密度貴金属又は磁性金属ナノ粒子分散コンポジット薄膜、同薄膜を用いた高感度分子検出用基板及び同薄膜の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小越 勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-228023
公開番号（公開出願番号）：特開2007-093589
出願日： 2006年08月24日
公開日（公表日）： 2007年04月12日
要約：
【課題】貴金属又は磁性金属ナノ粒子を、高い面内数密度で基板上に配置し、しかもナノ粒子相互間の距離を10nm以下に保ち、熱や化学物質によって近接したナノ粒子同士が融合して容易に大きな粒子にならない性質を持った薄膜を調製する。そして、これをさまざまな分子計測用の基板として利用しようとすることを課題とする。【解決手段】絶縁性物質と貴金属又は磁性金属を同時スパッタリングすることにより、基板上に貴金属又は磁性金属ナノ粒子が互いに10nm以下の距離で絶縁性物質により隔てられ、かつ該貴金属又は磁性金属ナノ粒子の数密度が10000個/μm2以上である超高密度貴金属又は磁性金属ナノ粒子分散コンポジット薄膜の製造方法。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
貴金属又は磁性金属ナノ粒子が互いに10nm以下の距離で絶縁性物質により隔てられ、かつ該貴金属又は磁性金属ナノ粒子の数密度が10000個/μm2以上であることを特徴とする超高密度貴金属又は磁性金属ナノ粒子分散コンポジット薄膜。
IPC (3件)：
G01N 27/04
, B82B 3/00
, B82B 1/00
G01N27/04 B
, B82B3/00
, G01N27/04 Z
, B82B1/00
2G043EA03
, 2G043GA07
, 2G043GB01
, 2G043NA13
, 2G060AB02
, 2G060AE19
, 2G060AF08
, 2G060AG10
, 2G060AG15
, 2G060BA01
, 2G060BB09
, 2G060HC07
, 2G060HC18
, 2G060HD03
, 2G060JA02
