特許
J-GLOBAL ID：200903009182382798

ポジ型感光性組成物

発明者：
児玉 邦彦

児玉 邦彦 について

, 
青合 利明

青合 利明 について


出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社

富士写真フイルム株式会社 について


代理人 (1件)： 小栗 昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-069052
公開番号（公開出願番号）：特開2002-268224
出願日： 2001年03月12日
公開日（公表日）： 2002年09月18日
要約：
【要約】【課題】 輪帯照明を用いた際に高解像力であり、デフォーカスラチチュードが広く、ハーフトーン位相シフトマスクを用いてパターン形成した際にサイドローブが発生し難く、且つ経時保存時にパーティクルが発生し難いポジ型感光性組成物を提供する。【解決手段】 活性光線または放射線の照射により炭素数2〜4のフッ素置換アルカンスルホン酸を発生する化合物と、特定の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解しアルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂と、塩基性化合物と、フッ素及び/又はシリコン系界面活性剤とを含有するポジ型感光性組成物。
請求項（抜粋）：
(A)活性光線又は放射線の照射により炭素数2〜4のフッ素置換アルカンスルホン酸を発生する化合物、(B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、(C)塩基性化合物、及び(D)フッ素及び/又はシリコン系界面活性剤を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。
IPC (7件)：
G03F 7/039 601 ,  C08K 5/02 ,  C08K 5/16 ,  C08K 5/42 ,  C08K 5/541 ,  C08L101/00 ,  H01L 21/027
FI (7件)：
G03F 7/039 601 ,  C08K 5/02 ,  C08K 5/16 ,  C08K 5/42 ,  C08L101/00 ,  C08K 5/54 ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (38件)：
2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA11 ,  2H025AB14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025CC04 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J002BG071 ,  4J002BH001 ,  4J002CE001 ,  4J002EB068 ,  4J002EN017 ,  4J002ER027 ,  4J002EU027 ,  4J002EU047 ,  4J002EU117 ,  4J002EU137 ,  4J002EU207 ,  4J002EU237 ,  4J002EV236 ,  4J002EX008 ,  4J002FD206 ,  4J002FD207 ,  4J002FD208 ,  4J002GP03
引用特許：
審査官引用 (14件)
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