特許
J-GLOBAL ID：200903009776028471

水素ガスセンサ及び水素ガスセンサ製造方法

発明者：
末廣 純也

末廣 純也 について

, 
岡田 龍雄

岡田 龍雄 について


出願人/特許権者：
国立大学法人九州大学

国立大学法人九州大学 について


代理人 (1件)： 林 靖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-168899
公開番号（公開出願番号）：特開2009-008476
出願日： 2007年06月27日
公開日（公表日）： 2009年01月15日
要約：
【課題】水素ガスに対して、常温で高感度、高速に応答し、信頼性が高く、安価で繰り返し使用することができ、製造が容易な水素ガスセンサとその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】本発明の水素ガスセンサとその製造方法は、マイクロ電極2a,2bと、CNTを誘電泳動してマイクロ電極2a,2bに架橋したセンサ素子と、CNT表面を修飾して水素ガスを解離、吸着するPd粒子とを備え、マイクロ電極2a,2b間のコンダクタンスまたは抵抗の変化を測定することで水素ガス濃度を検出する水素ガスセンサ1であって、表面を修飾するPd粒子が、Pdの塩若しくは錯体の溶液中に浸漬されたときのCNTとPdの酸化還元反応で析出するPd粒子と、前記溶液の中で酸化還元反応と重畳して起こるPdと電極材料の酸化還元反応に由来して析出したPd粒子とを含むことを主要な特徴とする。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
一対の電極と、カーボンナノ材料を誘電泳動して前記電極間に架橋したセンサ素子と、前記カーボンナノ材料の表面を修飾して水素ガスを解離、吸着する触媒金属体とを備え、前記電極間のコンダクタンスまたは抵抗の変化を測定することで水素ガス濃度を検出する水素ガスセンサであって、前記表面を修飾する触媒金属体が、触媒金属の塩若しくは錯体の溶液中に浸漬されたときのカーボンナノ材料と該触媒金属の酸化還元反応で析出する触媒金属粒子と、前記溶液の中で前記酸化還元反応と重畳して起こる前記触媒金属と電極材料の酸化還元反応に由来して析出した触媒金属粒子とを含むことを特徴とする水素ガスセンサ。
IPC (2件)：
G01N 27/12 ,  G01N 27/04
FI (4件)：
G01N27/12 M ,  G01N27/12 C ,  G01N27/04 E ,  G01N27/12 B
Fターム (46件)：
2G046AA05 ,  2G046BA01 ,  2G046BA06 ,  2G046BA09 ,  2G046BB02 ,  2G046BB04 ,  2G046BC03 ,  2G046BC05 ,  2G046BF05 ,  2G046BG04 ,  2G046DA03 ,  2G046DC14 ,  2G046DD02 ,  2G046EA02 ,  2G046EA04 ,  2G046EA08 ,  2G046EA09 ,  2G046FB00 ,  2G046FC06 ,  2G046FE03 ,  2G046FE10 ,  2G046FE29 ,  2G046FE31 ,  2G046FE38 ,  2G060AA01 ,  2G060AB03 ,  2G060AE19 ,  2G060AF03 ,  2G060AF07 ,  2G060AG08 ,  2G060AG10 ,  2G060AG11 ,  2G060AG15 ,  2G060BA09 ,  2G060BB03 ,  2G060BB09 ,  2G060BB18 ,  2G060BC03 ,  2G060HA02 ,  2G060HC07 ,  2G060HC10 ,  2G060HC18 ,  2G060HD03 ,  2G060HE03 ,  2G060JA01 ,  2G060KA01
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (7件)
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