熱処理装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤田隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-205960
公開番号（公開出願番号）：特開2007-024378
出願日： 2005年07月14日
公開日（公表日）： 2007年02月01日
要約：

【課題】被加熱物の熱処理に伴って発生する生成ガスや、生成ガスが冷却されて発生するいわゆる昇華物の漏出を抑制可能な熱処理装置の提供を目的とする。【解決手段】熱処理装置は、熱処理室12に基板を出し入れするための換装部6を有する。換装部6に設けられたシャッター10に対して隣接する位置には、エアノズル75と、排気ダクト74に通じる吸入口74aとが設けられている。熱処理室12内において発生した生成ガスや昇華物は、エアカーテンA1によって遮られ、シャッター10を開閉しても熱処理装置1の外部に漏出しない。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

被加熱物が配される熱処理室と、当該熱処理室の室温を上昇させる熱源と、前記熱処理室に被加熱物を出し入れするための換装部とを有し、当該換装部と熱処理室との境界部分、あるいは、当該境界部分よりも熱処理室の外側の位置に配され、熱処理室の内側から外側に向かう気体の流れを遮る気流を発生可能な気流発生手段と、当該気流発生手段により発生する気流の下流側に配され、気体を吸引する気体吸引手段とを備えていることを特徴とする熱処理装置。

IPC (2件)：

F27D 7/06 , F27D 7/02

FI (2件)：

F27D7/06 B , F27D7/02 A

Fターム (8件)：

4K063AA05 , 4K063BA06 , 4K063BA12 , 4K063DA13 , 4K063DA21 , 4K063DA23 , 4K063DA24 , 4K063DA32

引用特許：

出願人引用 (11件)

特許第2971771号公報
特開昭64-057089
コンベア炉
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-188888 出願人：三菱電機株式会社

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審査官引用 (2件)

特開昭64-057089
特開昭64-057089

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