特許
J-GLOBAL ID：200903009877863711
マイクロ波プラズマ処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
河野 登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-069169
公開番号（公開出願番号）：特開2000-106359
出願日： 1999年03月15日
公開日（公表日）： 2000年04月11日
要約：
【要約】【課題】 反応器の直径が大きくても、装置全体のサイズを可及的に小さくでき、小さなスペースに設置し得るマイクロ波プラズマ処理装置を提供する。【解決手段】 カバー部材10の上面には環状導波管型アンテナ部12を備えるアンテナ11が固定してあり、環状導波管型アンテナ部12の外周面に設けた開口の周囲には導入部13が連結してある。カバー部材10の環状導波管型アンテナ部12に対向する部分には、複数のスリット15,15,...が開設してあり、各スリット15,15,...は、導入部13の中心線を延長した延長線Lと前述した円Cとが交わる2点の内の導入部13から離隔した側である交点P1 から、円Cに倣ってその両方へ、それぞれ(2n-1)・λg/4を隔てた位置に、2つのスリット15,15が開設してあり、両スリット15,15から、円Cに倣ってその両方へ、m・λg/2を隔てて複数の他のスリット15,15,...が開設してある。
請求項（抜粋）：
一部を封止部材で封止してなる容器内へ、前記封止部材を透過させてマイクロ波を導入し、該マイクロ波によってプラズマを生成し、生成したプラズマによって被処理物を処理する装置において、マイクロ波を伝播させる環状の管状部材と、該管状部材内へマイクロ波を導入すべく前記管状部材の周面に開設した導入口と、前記管状部材の前記封止部材に対向する部分に開設したスリットとを具備するアンテナを備え、該アンテナは前記封止部材の表面に対向して設けてあり、前記導入口から管状部材内へマイクロ波を入射し、前記スリットから前記封止部材へマイクロ波を放射するようになしてあることを特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/302 B
, H05H 1/46 B
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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