並列処理光学距離計

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金田暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-271793
公開番号（公開出願番号）：特開2002-188903
出願日： 2001年09月07日
公開日（公表日）： 2002年07月05日
要約：

【要約】【課題】 n個(nは自然数)の点の位置の、その参照位置からのずれを迅速に測定する。【解決手段】時間的に同時にまたは並行して、n個の信号が検出器10によって生成され、n個の信号の各々が反射点(P)の1つに一義的に割り当てられる。生成された信号は、版の画像付けをする装置においてオートフォーカス装置を制御するため、または光源の強度制御をするために使用することができる。

請求項（抜粋）：

電磁放射源(1)と、結像光学系(2,4,9)と、感光性の検出器(10)とを備え、位置情報が強度信号に変換される、n個(nは自然数)の点(P)の位置の、n個の分離されたその参照位置とのずれを測定する装置において、時間的に実質的に同時にまたは並行して、n個の信号が前記検出器(10)によって生成され、n個の信号の各々がn個の点(P)の1つに一義的に割り当てられることを特徴とする、n個の点の位置の、n個の分離されたその参照位置とのずれを測定する装置。

IPC (4件)：

G01B 11/00 , G01C 3/06 , G02B 7/02 , G02B 7/28

FI (5件)：

G01B 11/00 B , G01C 3/06 A , G02B 7/02 Z , G02B 7/11 H , G02B 7/11 N

Fターム (27件)：

2F065AA01 , 2F065AA03 , 2F065DD10 , 2F065FF44 , 2F065GG06 , 2F065HH12 , 2F065JJ17 , 2F065JJ18 , 2F065JJ25 , 2F065LL08 , 2F065LL21 , 2F065LL46 , 2F112AA08 , 2F112BA05 , 2F112CA12 , 2F112CA20 , 2F112DA06 , 2F112DA26 , 2F112DA28 , 2F112DA40 , 2F112EA05 , 2F112FA41 , 2H044AJ06 , 2H044AJ07 , 2H051AA00 , 2H051BB27 , 2H051CC02

引用特許：

審査官引用 (10件)

投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-072874 出願人：株式会社ニコン
特開昭58-070434
特開昭63-007626

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