放射線検出器およびそれを備えた放射線撮像装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉谷勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-176041
公開番号（公開出願番号）：特開2005-012049
出願日： 2003年06月20日
公開日（公表日）： 2005年01月13日
要約：

【課題】製造効率および検出特性を向上させた放射線検出器およびそれを備えた放射線撮像装置を提供する。【解決手段】導電性を有する支持基板4を用いることにより、支持基板に直接バイアス電圧を供給することができるので、共通電極を設ける必要がなくなる。その結果、製造工程を減らし、製造効率の向上を図ることができる。また、導電性を有する支持基板4は電気抵抗が十分に低いので、バイアス電圧の変動を抑制することができる。その結果、雑音を減らし、結果S/N比(信号対雑音比)が高いものとなり、さらに、優れた時間応答性を得ることができる。したがって、検出特性の向上を図ることができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

導電性を有する支持基板と、前記支持基板に積層形成されるとともに検出対象に感応してキャリア(電子、正孔)を生成する感応半導体膜と、前記感応半導体膜で生成されたキャリアをキャリア蓄積・読み出し用の素子を備えた読み出し手段とからなることを特徴とする放射線検出器。

IPC (5件)：

H01L31/09 , G01T1/24 , H01L27/14 , H01L27/146 , H04N5/32

FI (5件)：

H01L31/00 A , G01T1/24 , H04N5/32 , H01L27/14 C , H01L27/14 K

Fターム (47件)：

2G088EE01 , 2G088EE30 , 2G088FF02 , 2G088FF04 , 2G088GG21 , 2G088JJ04 , 2G088JJ05 , 2G088JJ09 , 2G088JJ23 , 2G088JJ32 , 2G088JJ33 , 2G088JJ37 , 2G088KK32 , 2G088LL11 , 2G088LL12 , 2G088LL18 , 2G088MM04 , 4M118AB01 , 4M118BA05 , 4M118CA01 , 4M118CA14 , 4M118CA32 , 4M118CB05 , 4M118FB03 , 4M118FB09 , 4M118FB13 , 4M118FB16 , 4M118FB25 , 4M118HA25 , 5C024AX11 , 5C024CX03 , 5C024CY47 , 5C024DX04 , 5C024GX03 , 5C024HX47 , 5F088AA11 , 5F088AB09 , 5F088BB03 , 5F088BB07 , 5F088CB04 , 5F088DA05 , 5F088DA20 , 5F088EA04 , 5F088EA08 , 5F088GA01 , 5F088KA08 , 5F088LA08

引用特許：

審査官引用 (18件)

光検出装置および放射線検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-212299 出願人：キヤノン株式会社
放射線検出素子アレイ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-357932 出願人：株式会社島津製作所
放射線検出器およびアレイ型放射線検出器および二次元放射線撮像装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-053188 出願人：株式会社島津製作所

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