特許
J-GLOBAL ID：200903010319596993

リニアモータ装置、ステージ装置及び露光装置並びにリニアモータ装置の製造方法

発明者：
影山 滋樹

影山 滋樹 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-017588
公開番号（公開出願番号）：特開2004-254494
出願日： 2004年01月26日
公開日（公表日）： 2004年09月09日
要約：
【課題】 装置の大型化を抑えつつ、装置の各位置での温度分布の発生を抑えることができるリニアモータ装置を提供する。【解決手段】 リニアモータ装置1は、複数のコイル4を所定の材料で結合し一体化したコイルアセンブリ5と、コイルアセンブリ5の凹部10と板部材11との間に形成され、冷媒を流通する第1の流路21と、板部材11を接続したコイルアセンブリ5を囲むハウジング部6と、コイルアセンブリ5とハウジング部6との間に形成され、冷媒を流通する第2の流路22とを備えている。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
複数のコイルを所定の材料で結合し一体化したコイルアセンブリと、 前記コイルアセンブリに形成され、冷媒を流通する第1の流路と、 前記コイルアセンブリを囲むハウジング部と、 前記コイルアセンブリと前記ハウジング部との間に形成され、冷媒を流通する第2の流路とを備えることを特徴とするリニアモータ装置。
IPC (4件)：
H02K41/03 ,  H01L21/027 ,  H02K9/19 ,  H02K41/02
FI (4件)：
H02K41/03 A ,  H02K9/19 A ,  H02K41/02 A ,  H01L21/30 503A
Fターム (21件)：
5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC17 ,  5H609BB08 ,  5H609PP02 ,  5H609PP06 ,  5H609PP09 ,  5H609QQ04 ,  5H609QQ05 ,  5H609RR33 ,  5H609RR69 ,  5H609RR73 ,  5H641BB06 ,  5H641GG02 ,  5H641GG05 ,  5H641GG07 ,  5H641GG12 ,  5H641HH03 ,  5H641JB05 ,  5H641JB09
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (8件)
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