特許
J-GLOBAL ID：200903010355297757
金属酸化物膜の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
山下 昭彦
, 岸本 達人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-095153
公開番号（公開出願番号）：特開2007-290958
出願日： 2007年03月30日
公開日（公表日）： 2007年11月08日
要約：
【課題】本発明は、金属酸化物膜の結晶性や結晶構造等の膜質を調整可能な金属酸化物膜の製造方法を提供することを主目的とするものである。【解決手段】本発明は、同一の金属元素および異なる非金属部を有する2種類以上の金属源を含有し、かつ、上記2種類以上の金属源の少なくとも一つが単独で金属酸化物膜を形成可能な単独膜形成可能金属源である金属酸化物膜形成用溶液を用い、上記金属酸化物膜形成用溶液と、金属酸化物膜形成温度以上の温度まで加熱した基材とを接触させることにより上記基材上に金属酸化物膜を形成することを特徴とする金属酸化物膜の製造方法を提供することにより、上記課題を解決する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
同一の金属元素および異なる非金属部を有する2種類以上の金属源を含有し、かつ、前記2種類以上の金属源の少なくとも一つが単独で金属酸化物膜を形成可能な単独膜形成可能金属源である金属酸化物膜形成用溶液を用い、
前記金属酸化物膜形成用溶液と、金属酸化物膜形成温度以上の温度まで加熱した基材とを接触させることにより前記基材上に金属酸化物膜を形成することを特徴とする金属酸化物膜の製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (25件)：
4G002AA02
, 4G002AB02
, 4G042DA01
, 4G042DA02
, 4G042DB10
, 4G042DD02
, 4G042DE04
, 4G042DE07
, 4G042DE14
, 4G047AA02
, 4G047AB02
, 4G047AD02
, 4G047CA02
, 4G047CB05
, 4G047CD02
, 4G048AA02
, 4G048AA03
, 4G048AB02
, 4G048AD02
, 4G048AE06
, 4G048AE08
, 4G076AA02
, 4G076AB04
, 4G076AB11
, 4G076CA10
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (13件)
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特開昭62-228484
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多機能光触媒膜被覆ガラスの製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-241005
出願人：セントラル硝子株式会社
-
特開昭62-050474
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引用文献：
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