特許
J-GLOBAL ID:200903010395102061
光デバイス、光デバイスの駆動方法、及び光デバイスの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中島 淳 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-154980
公開番号(公開出願番号):特開2000-305117
出願日: 1999年06月02日
公開日(公表日): 2000年11月02日
要約:
【要約】【課題】 高速駆動が可能で、温度安定性に優れ、駆動電圧が低く、クロストークおよび挿入損失が小さい光デバイスを提供する。【解決手段】 導電性または半導電性の下部電極となる単結晶基板3と、該単結晶基板3上に設けられた酸化物よりなるエピタキシャルバッファ層4と、該バッファ層4上に設けられ、入射用光経路と出射用光経路との分岐部に電圧が印加されることにより光経路が切り替えられるチャンネル光導波路が形成された、電気光学効果を有する酸化物強誘電体よりなるエピタキシャル光導波路層6と、前記チャンネル光導波路の分岐部に電圧を印加するための一対の上部電極8と、を備えた光デバイス。
請求項(抜粋):
電気光学効果を有する酸化物強誘電体よりなり、チャンネル光導波路が形成されたエピタキシャルまたは単一配向性の光導波路層と、前記チャンネル光導波路に電圧を印加するための上部電極及び下部電極からなる電極と、を備えた光デバイス。
Fターム (18件):
2K002AA02
, 2K002AB01
, 2K002AB02
, 2K002AB04
, 2K002AB05
, 2K002AB13
, 2K002BA06
, 2K002CA02
, 2K002DA07
, 2K002DA08
, 2K002EA07
, 2K002EA14
, 2K002EA15
, 2K002EB04
, 2K002EB05
, 2K002FA02
, 2K002FA30
, 2K002HA05
引用特許:
引用文献:
審査官引用 (7件)
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PLZT薄膜光スイッチを用いた2ch動画伝送実験
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Applied Optics, 19840701, Vol.23, no.13, pp.2187-2191
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Optics Letters, 19900201, Vol.15, no.3, pp.151-153
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Journal of Lightwave Technology, 198410, Vol.LT-2, no.5, pp.710-714
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Journal of Lightwave Technology, 198410, Vol.LT-2, no.5, pp.710-714
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Journal of Lightwave Technology, 198410, Vol.LT-2, no.5, pp.710-714
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Journal of Lightwave Technology, 198410, Vol.LT-2, no.5, pp.710-714
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