合成石英ガラス製光学部材

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺望稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-125614
公開番号（公開出願番号）：特開2001-302275
出願日： 2000年04月26日
公開日（公表日）： 2001年10月31日
要約：

【要約】【課題】低複屈折であり、かつその複屈折のバラツキが小さく、屈折光学系または反射屈折光学系の露光装置に用いられる光学部材として好適な合成石英ガラス製光学部材の提供。【解決手段】Na濃度が5ppb以下、かつNa濃度の最大値と最小値の差が3ppb以下である合成石英ガラスからなり、複屈折が2nm以下である合成石英ガラス製光学部材。

請求項（抜粋）：

Na濃度が5ppb以下、かつNa濃度の最大値と最小値の差が3ppb以下である合成石英ガラスからなり、複屈折が2nm以下である合成石英ガラス製光学部材。

IPC (4件)：

C03C 3/06 , G02B 1/00 , G03F 1/14 , H01L 21/027

FI (4件)：

C03C 3/06 , G02B 1/00 , G03F 1/14 B , H01L 21/30 515 D

Fターム (18件)：

2H095BC27 , 4G062AA04 , 4G062BB02 , 4G062CC07 , 4G062EB01 , 4G062EB02 , 4G062GE02 , 4G062MM02 , 4G062MM35 , 4G062NN01 , 4G062NN03 , 4G062NN16 , 5F046BA03 , 5F046CA04 , 5F046CA08 , 5F046CB10 , 5F046CB12 , 5F046CB17

引用特許：

審査官引用 (8件)

石英ガラス光学部材
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-221254 出願人：株式会社ニコン
高出力真空紫外線用合成シリカガラス光学材料およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-145938 出願人：信越石英株式会社
石英ガラス光学部材、その製造方法、及び投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-205906 出願人：株式会社ニコン

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