特許
J-GLOBAL ID：200903010589575025

砥液供給装置

発明者：
川島 清隆

川島 清隆 について


出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所 について


代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-316217
公開番号（公開出願番号）：特開平11-138439
出願日： 1997年10月31日
公開日（公表日）： 1999年05月25日
要約：
【要約】【課題】 砥液等を流通させる配管や一時的に貯留する容器の壁面への析出を防止して、一定の濃度の砥液を安定に供給することができる砥液供給装置を提供する。【解決手段】 研磨装置22に砥液を供給する砥液供給装置であって、原液と希釈液の少なくとも2つの供給源と、これらの供給源から供給される原液及び希釈液を混合する混合部18と、混合部18で混合された砥液を研磨装置22に供給する抜き出し経路24とを備え、混合部18は外部空間に対して気密に構成されている。
請求項（抜粋）：
研磨装置に砥液を供給する砥液供給装置であって、原液と希釈液の少なくとも2つの供給源と、これらの供給源から供給される原液及び希釈液を混合する混合部と、該混合部で混合された砥液を研磨装置に供給する抜き出し経路とを備え、前記混合部は外部空間に対して気密に構成されていることを特徴とする砥液供給装置。
IPC (3件)：
B24B 57/02 ,  B24B 37/00 ,  H01L 21/304 321
FI (3件)：
B24B 57/02 ,  B24B 37/00 Z ,  H01L 21/304 321 E
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (4件)
  • 化学機械式研磨装置および研磨方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-270649   出願人：モトローラ・インコーポレイテッド
  • 砥粒液供給装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-108824   出願人：日立電子エンジニアリング株式会社
  • スラリー供給装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-177445   出願人：東芝機械株式会社
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