真空紫外レーザー光源、真空紫外レーザー発生方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：亀井岳行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-278451
公開番号（公開出願番号）：特開2007-088384
出願日： 2005年09月26日
公開日（公表日）： 2007年04月05日
要約：

【課題】コンパクトな構成で、希ガスを安定して励起させて真空紫外レーザー光を発生させること。【解決手段】繊維状且つ筒状の中空ファイバー(4)であって、内部に希ガスを内包する前記中空ファイバー(4)と、前記中空ファイバー(4)内に、前記希ガスを光電界電離させて真空紫外光を発生させるレーザー光を照射するレーザー装置(16)と、前記中空ファイバー(4)の両端部に対向して配置され、前記真空紫外光を反射して増幅する一対の鏡(7,8)を有する光共振器(4+7+8)と、を備えた真空紫外レーザー光源(1)。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

繊維状且つ筒状の中空ファイバーであって、内部に希ガスを内包する前記中空ファイバーと、前記中空ファイバー内に、前記希ガスを光電界電離させて真空紫外光を発生させるレーザー光を照射するレーザー装置と、前記中空ファイバーの両端部に対向して配置され、前記真空紫外光を反射して増幅する一対の鏡を有する光共振器と、を備えたことを特徴とする真空紫外レーザー光源。

IPC (1件)：

H01S 3/094

FI (1件)：

H01S3/094 Z

Fターム (3件)：

5F172AD06 , 5F172CC01 , 5F172EE12

引用特許：

出願人引用 (5件)

気体レーザ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-112900 出願人：松下電器産業株式会社
レーザー装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-070067 出願人：財団法人産業創造研究所
気体レーザーのマイクロ波放電励起方法及びマイクロ波気体レーザー装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-179847 出願人：三菱重工業株式会社

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審査官引用 (4件)

超広帯域可変波長多重パルス波形整形装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-354871 出願人：科学技術振興事業団, シチズン時計株式会社
高効率プラズマ閉じ込め方法とレーザー発振方法並びにレーザー発振器
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-193262 出願人：日本原子力研究所, 株式会社ミヤマ
アルカリハライドイオンエキシマレーザの励起方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-200518 出願人：日本電気株式会社

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引用文献：

審査官引用 (3件)

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