特許
J-GLOBAL ID：200903011837891580
近接場光学顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (4件)：
平木 祐輔
, 関谷 三男
, 渡辺 敏章
, 今村 健一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-020432
公開番号（公開出願番号）：特開2005-214745
出願日： 2004年01月28日
公開日（公表日）： 2005年08月11日
要約：
【課題】 空間分解能を高めるために開口径を微小にした場合に生じる近接場光の減衰を、プラズモン共鳴による光電場の増強効果を利用することによって防ぎ、空間分解能と明るさを両立して高める。加えて、開口型近接場光学顕微鏡の形態を有しているため、バックグランドとなる伝播光成分のほとんどをカットし、近接場光(信号)を有効に利用できるため、コントラスト比(信号/バックグランド)の高い画像を得る。【解決手段】 プローブの先端部は、テーパ角度の緩やかな第1部分6aと先端に近くテーパ形状の急な第2部分6bとを含むテーパ形状の異なる2段構成を有している。ファイバー部3a-1内を伝搬するE=hνのエネルギーを有する伝搬光は、先端近傍の第2部分6bのファイバー部3a-1と金属層3a-2との界面の金属表面においてプラズモンの共鳴励起が生じることにより、開口7の近傍において近接場光の増強が生じる。これを開口型近接場光学顕微鏡に利用する場合に、ファイバー内を伝搬するプローブ光がプローブの先端近傍において金属層と共鳴する波長を選択する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
導波路と、該導波路の外側を覆う遮光層であって測定対象試料と近接する先端側において前記導波路を露出する開口が形成された遮光層と、を有するプローブを有する開口型近接場光学顕微鏡において、
前記先端側に向けて前記導波路を伝搬するプローブ光が、前記遮光層に特有の局在プラズモンの共鳴励起波長又はその近傍の波長を有することを特徴とする開口型近接場光学顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N13/14
, G01B21/00
, G12B21/06
G01N13/14 A
, G01B21/00 E
, G12B1/00 601C
2F069AA04
, 2F069GG04
, 2F069GG58
, 2F069MM02
, 2F069MM24
, 2F069MM26
, 2F069MM34
, 2F069NN16
, 2F069NN25
