光学的変位測定器

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：吉田研二 , 石田純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-239524
公開番号（公開出願番号）：特開2006-058115
出願日： 2004年08月19日
公開日（公表日）： 2006年03月02日
要約：

【課題】新しい方法により、使いやすい光学的変位測定器を提供することである。【解決手段】測定対象物8の前方に円錐形状の対物プリズム16が配置される。光源12、コリメートレンズ14により、対物プリズム16の中心光軸30から平行に偏移した往路光40が対物プリズム16を通り、その円錐形状の界面で屈折して測定対象物8に入射される。測定対象物8の表面で反射された光は、対物プリズム16に戻され、その円錐形状の界面で再び曲げられ、往路光40に平行な復路光46となる。中心光軸30からの復路光46のオフセット量は、測定対象物8の変位に応じて変化する。復路光46を集光レンズ18で焦点19に集光し、ピンホール光学素子20で散乱光の影響を抑制して、光位置検出センサ22でオフセット量を検出し、測定対象物8の変位を測定する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

往路光を屈折させて対象物に光を当て、対象物から反射する光を屈折させて復路光とする対物光学系であって、往路光を中心光軸に平行な光としたときに、対象物の位置にかかわらず、復路光を往路光に平行な光とする対物光学系と、対物光学系の中心光軸から平行に偏移させた光を、対物光学系を介して対象物に当てる光源と、対象物と対物光学系との間の変位に応じて対物光学系の中心光軸からオフセットする復路光を検出する検出部と、を備えることを特徴とする光学的変位測定器。

IPC (2件)：

G01C 3/06 , G01B 11/00

FI (2件)：

G01C3/06 A , G01B11/00 B

Fターム (17件)：

2F065AA01 , 2F065HH03 , 2F065HH12 , 2F065LL00 , 2F065LL30 , 2F065LL37 , 2F065LL46 , 2F112AA06 , 2F112BA02 , 2F112CA13 , 2F112DA04 , 2F112DA10 , 2F112DA13 , 2F112DA17 , 2F112DA28 , 2F112DA32 , 2F112FA41

引用特許：

出願人引用 (1件)

オートフォーカス機構
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-184883 出願人：株式会社ミツトヨ

審査官引用 (9件)

並列処理光学距離計
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-271793 出願人：ハイデルベルガードルツクマシーネンアクチエンゲゼルシヤフト
高さ測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-265331 出願人：オリンパス光学工業株式会社
格子干渉型変位検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-134493 出願人：株式会社ミツトヨ

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