特許
J-GLOBAL ID:200903012558541125

半導体装置、及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  西元 勝一 ,  福田 浩志
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-301019
公開番号(公開出願番号):特開2004-140037
出願日: 2002年10月15日
公開日(公表日): 2004年05月13日
要約:
【課題】実装面積の小面積化を図ったマルチチップ化した半導体装置、及びその製造方法を提供すること。【解決手段】集積回路が形成された表面及び裏面を有し、積層された複数の半導体チップ(1st半導体チップ10、2nd半導体チップ)と、複数の半導体チップの集積回路間を電気的に接続する第1の配線(再配線層16、26、メタルポスト配線18、28)と、第1の配線と電気的に接続された外部端子(ボール電極46)と、複数の半導体チップ及び前記第1の配線を封止する封止樹脂(封止樹脂40)と、を備える半導体装置、及びその製造方法である。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
集積回路が形成された表面及び裏面を有し、積層された複数の半導体チップと、 前記複数の半導体チップの集積回路間を電気的に接続する第1の配線と、 前記第1の配線と電気的に接続された外部端子と、 前記複数の半導体チップ及び前記第1の配線を封止する封止樹脂と、 を備えることを特徴とする半導体装置。
IPC (3件):
H01L25/065 ,  H01L25/07 ,  H01L25/18
FI (1件):
H01L25/08 Z
引用特許:
審査官引用 (8件)
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