特許
J-GLOBAL ID：200903012755045385

弾性波デバイスおよびその製造方法

発明者：
井上 和則

井上 和則 について

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松田 隆志

松田 隆志 について

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木村 丈児

木村 丈児 について


出願人/特許権者：
富士通メディアデバイス株式会社

富士通メディアデバイス株式会社 について

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富士通株式会社

富士通株式会社 について


代理人 (1件)： 片山 修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-333242
公開番号（公開出願番号）：特開2007-142770
出願日： 2005年11月17日
公開日（公表日）： 2007年06月07日
要約：
【課題】モジュール化の際の圧力で変形しない中空構造を有する弾性波デバイスおよびその製造方法を提供すること。【解決手段】本発明は、圧電基板(10)または圧電膜の表面に設けられた弾性波素子(12)と、圧電基板(10)または圧電膜上に設けられ、弾性波素子(12)上に空洞(18)を有する第1樹脂部(20)と、第1樹脂部(20)上に設けられた第2樹脂部(40)と、を有し、第2樹脂部(40)は、第1樹脂部(20)の上面に空洞(18)を投影した領域を含むように設けられていることを特徴とする弾性波デバイスである。また、その製造方法である。【選択図】図10
請求項（抜粋）：
圧電基板または圧電膜の表面に設けられた弾性波素子と、 前記圧電基板上に設けられ、前記弾性波素子上に空洞を有する第1樹脂部と、 前記第1樹脂部上に設けられた第2樹脂部と、を具備し、 前記第2樹脂部は、前記第1樹脂部の上面に前記空洞を投影した領域を含むように設けられていることを特徴とする弾性波デバイス。
IPC (2件)：
H03H 3/08 ,  H03H 9/25
FI (2件)：
H03H3/08 ,  H03H9/25 A
Fターム (14件)：
5J097AA25 ,  5J097AA32 ,  5J097BB01 ,  5J097BB15 ,  5J097BB17 ,  5J097DD29 ,  5J097EE05 ,  5J097HA04 ,  5J097HA07 ,  5J097JJ04 ,  5J097JJ06 ,  5J097JJ10 ,  5J097KK09 ,  5J097KK10
引用特許：
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (6件)
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