特許
J-GLOBAL ID：200903013050133966

感放射線性組成物

発明者：
越後 雅敏

越後 雅敏 について

, 
小黒 大

小黒 大 について


出願人/特許権者：
三菱瓦斯化学株式会社

三菱瓦斯化学株式会社 について


代理人 (1件)： 永井 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-110680
公開番号（公開出願番号）：特開2009-173623
出願日： 2008年04月21日
公開日（公表日）： 2009年08月06日
要約：
【課題】 高感度、高解像度、高エッチング耐性、低アウトガス量、及び得られるレジストパターン形状が良好な環状化合物、該化合物を含む感放射性組成物、および該感放射性組成物を用いるレジストパターン形成方法を提供する。【解決手段】 下記式(1)で示される、特定条件を満たす環状化合物、該化合物を含む感放射性組成物、および該感放射性組成物を用いるレジストパターン形成方法。【化1】(1)【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
下記式(1)で示される環状化合物。
IPC (8件)：
C07C 39/17 ,  G03F 7/039 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/11 ,  H01L 21/027 ,  C07C 39/42 ,  C07C 215/70
FI (8件)：
C07C39/17 ,  G03F7/039 601 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/038 601 ,  G03F7/11 503 ,  H01L21/30 502R ,  C07C39/42 ,  C07C215/70
Fターム (25件)：
2H025AA04 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE07 ,  2H025BF29 ,  2H025BG00 ,  2H025CB29 ,  2H025CC17 ,  2H025CC20 ,  2H025DA34 ,  2H025FA10 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4H006AA01 ,  4H006AA03 ,  4H006AB76 ,  4H006BJ30 ,  4H006BJ50 ,  4H006BN30
引用特許：
出願人引用 (15件)
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審査官引用 (9件)
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引用文献：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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