特許
J-GLOBAL ID：200903013729979147
圧電体素子、液体吐出ヘッド及び液体吐出装置
発明者：
,
,
,
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (3件)：
宮崎 昭夫
, 石橋 政幸
, 緒方 雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-007529
公開番号（公開出願番号）：特開2007-096248
出願日： 2006年01月16日
公開日（公表日）： 2007年04月12日
要約：
【課題】圧電特性が高く、かつ耐久性の良好な圧電体素子、液体吐出ヘッド及び液体吐出装置を提供する。【解決手段】主成分がPb(Zr,Ti)O3であり、正方晶のa-ドメイン及びc-ドメインを有する圧電体膜と、その圧電体膜に接続された一対の電極とを有する圧電体素子を用いる。ただし、圧電体膜が基板上に形成され、Zr/(Zr+Ti)が0.4を超え0.7未満の場合には、a-ドメイン及びc-ドメインの合計に対するc-ドメインの体積割合が20〜60%、又はa-ドメインの少なくとも一部及びc-ドメインの少なくとも一部が(N0N)面(Nは0を除く整数)を双晶面とする双晶の鏡像関係にあるものを用いる。あるいは、a-ドメインおよびc-ドメインを構成する[001]軸長及び[100]軸長の比([001]軸長/[100]軸長)が1.004以上1.040以下のものを用いる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
基板上に圧電体膜と該圧電体膜に接続された一対の電極とを有する圧電体素子において、前記圧電体膜の主成分がPb(Zr,Ti)O3であり、Zr/(Zr+Ti)の組成比が0.4を超え0.7未満であり、前記圧電体膜が前記基板の表面に対して±10°の範囲内に正方晶のa-ドメインおよびc-ドメインを少なくとも有する膜であり、前記c-ドメインの、前記a-ドメイン及び前記c-ドメインの合計に対する体積割合が20%以上60%以下であることを特徴とする圧電体素子。
IPC (8件)：
H01L 41/09
, H01L 41/187
, H01L 41/18
, H01L 41/22
, H02N 2/00
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
H01L41/08 C
, H01L41/18 101D
, H01L41/18 101J
, H01L41/18 101Z
, H01L41/08 U
, H01L41/22 Z
, H02N2/00 B
, B41J3/04 103A
, B41J3/04 103H
2C057AF52
, 2C057AF65
, 2C057AF93
, 2C057AG15
, 2C057AG44
, 2C057AN01
, 2C057AP02
, 2C057AP14
, 2C057AP22
, 2C057AP24
, 2C057AP25
, 2C057AP28
, 2C057AP32
, 2C057AP33
, 2C057AP52
, 2C057AP53
, 2C057AP60
, 2C057AQ02
, 2C057BA04
, 2C057BA14
出願人引用 (3件)
-
圧電アクチュエータおよびその製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-250536
出願人：松下電器産業株式会社
-
薄膜圧電素子
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-139997
出願人：ティーディーケイ株式会社
-
米国特許第6198208号明細書
審査官引用 (5件)
全件表示
前のページに戻る
