特許
J-GLOBAL ID：200903014471343907
偏向器アレイおよびその製造方法、ならびに該偏向器アレイを用いた荷電粒子線露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-353904
公開番号（公開出願番号）：特開2005-123264
出願日： 2003年10月14日
公開日（公表日）： 2005年05月12日
要約：
【課題】 チャージアップの起こりにくい荷電粒子線の偏向器を提供する。【解決手段】 荷電粒子線を偏向する偏向器と偏向器のチャージアップを防止するためのシールド電極とを別々の基板に作製し、組み立てる。偏向器は、基板601に、貫通孔513と該貫通孔の側壁に互いに対向して設置された少なくとも1対の偏向電極503a、503bとを複数個アレイ状に配列して作製し、シールド電極は、偏向器基板601の各貫通孔513に対応して複数の開口609を設けた基板602a、602bの表裏面の少なくとも一方に導電層608を配置して作製する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
荷電粒子線を偏向する偏向器を複数個アレイ状に配列した偏向器基板と、シールド用に接地される導電層を有するシールド電極基板とを対面させて配置した偏向器アレイであって、
前記偏向器は、前記偏向器基板に形成された貫通孔と、該貫通孔の側壁に互いに対向して設置された少なくとも1対の偏向電極とを有し、
前記シールド電極基板は、前記各貫通孔に対応して設けられた複数の開口と、前記偏向器基板に対面する側およびその反対側の少なくとも一方の面に配置された前記導電層とを有することを特徴とする偏向器アレイ。
IPC (4件)：
H01L21/027
, G03F7/20
, H01J37/147
, H01J37/305
H01L21/30 541B
, G03F7/20 521
, H01J37/147 C
, H01J37/305 B
5C033GG01
, 5C033GG02
, 5C033GG07
, 5C034BB03
, 5F056AA07
, 5F056AA16
, 5F056EA03
, 5F056EA04
, 5F056EA05
, 5F056EA06
, 5F056EA08
出願人引用 (1件)
審査官引用 (9件)
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