特許
J-GLOBAL ID：200903077567676500
電極構造体及びその製造方法、電子光学系アレイ、荷電粒子線露光装置、並びに、デバイスの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大塚 康徳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-074737
公開番号（公開出願番号）：特開2001-345261
出願日： 2001年03月15日
公開日（公表日）： 2001年12月14日
要約：
【要約】【課題】複数の電子レンズを有する電子光学系アレイを提供する。【解決手段】この電子光学系アレイは、複数の荷電粒子線の経路に沿って配置され各々前記複数の荷電粒子線の経路上に複数の開口を有する複数の電極構造体1、2、3を備える。前記複数の電極構造体の少なくとも1つの電極構造体2は、前記複数の荷電粒子線を各々通すための複数の開口を有する基板2aと、前記複数の開口の側面から前記複数の開口の周辺に向かって延びる複数の電極10とを備え、前記基板2aは、少なくとも表面が絶縁性を有する。
請求項（抜粋）：
複数の電子レンズを有する電子光学系アレイの構成部品としての電極構造体であって、複数の荷電粒子線を各々通すための複数の開口が形成された基板と、前記複数の開口の側面から前記複数の開口の周辺に向かって延びる複数の電極と、を備え、前記基板は、少なくとも表面が絶縁性を有することを特徴とする電極構造体。
IPC (6件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 504
, H01J 9/14
, H01J 37/04
, H01J 37/12
, H01J 37/305
G03F 7/20 504
, H01J 9/14 A
, H01J 37/04 Z
, H01J 37/12
, H01J 37/305 B
, H01L 21/30 541 B
, H01L 21/30 502 G
