特許
J-GLOBAL ID:200903015003195352
粒子センサに対するセンサ素子および該センサ素子を作動する方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
矢野 敏雄
, アインゼル・フェリックス=ラインハルト
, ラインハルト・アインゼル
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-530688
公開番号(公開出願番号):特表2008-512661
出願日: 2005年07月18日
公開日(公表日): 2008年04月24日
要約:
ここに記載されているのは、ガス混合器における粒子の濃度を決定するガスセンサ、例えばすすセンサに対するセンサ素子であり、ここでこのセンサ素子は、電気的に絶縁された基板に被着された少なくとも1つの第1測定電極(14,16)と、少なくとも1つの第2測定電極(14a,16a)とを有している。ここでは第1および第2測定電極(14,14a,16,16a)に電圧を加えることができる。第1測定電極(14,16)は、決定すべき粒子が拡散可能な多孔質材料(18,20)によって少なくとも部分的に覆われている。
請求項(抜粋):
ガス混合器における粒子の濃度を決定するためのガスセンサ、例えばすすセンサに対するセンサ素子であって、
該センサ素子は、電気的な絶縁性を有する基板にデポジットされる少なくとも1つの第1測定電極と、少なくとも1つの第2測定電極とを有しており、
当該の第1および第2測定電極に電圧を加えることができる形式のセンサ素子において、
少なくとも第1測定電極(14,14a,16,16a)は、決定すべき粒子が拡散可能な多孔性の材料(18,20)によって少なくとも部分的に覆われていることを特徴とする
センサ素子。
IPC (2件):
FI (2件):
G01N27/04 Z
, G01N15/06 D
Fターム (8件):
2G060AA03
, 2G060AE20
, 2G060AF07
, 2G060AG06
, 2G060AG08
, 2G060AG11
, 2G060BB08
, 2G060GA01
引用特許:
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (19件)
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特開昭59-196453
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湿度センサ素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-223480
出願人:株式会社リケン
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抵抗変化式湿度センサのクリーニング方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-268671
出願人:日本特殊陶業株式会社
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特開昭59-197847
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特開昭57-147043
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半導体ケミカル・センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-344119
出願人:ティーアールダブリュー・インコーポレーテッド
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ガスセンサ及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-180252
出願人:東陶機器株式会社
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特開昭59-196453
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特開昭59-196453
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特開昭59-197847
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特開昭57-147043
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特開昭59-196453
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湿度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-165318
出願人:日本特殊陶業株式会社
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特開昭61-010757
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特開昭57-147043
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特開昭59-196453
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特開昭57-147043
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ガスセンサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-226917
出願人:日本特殊陶業株式会社
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粒子状物質センサ-およびこれを用いた粒子状物質の測定方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-295694
出願人:株式会社堀場製作所
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