特許
J-GLOBAL ID：200903015174866379
反射防止フィルムの欠陥検出装置および方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (8件)：
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 中村 誠
, 蔵田 昌俊
, 峰 隆司
, 福原 淑弘
, 村松 貞男
, 橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-303232
公開番号（公開出願番号）：特開2006-113022
出願日： 2004年10月18日
公開日（公表日）： 2006年04月27日
要約：
【課題】反射防止フィルムの欠陥検出を自動的に行う装置および方法を実現する。【解決手段】本発明によれば、反射防止フィルム40の被検部位に少なくとも可視光領域を含む検査光a,bを照射する光源部1と、検査光が被検部位で反射してなる反射光eから、フィルム面の法線方向に対して平行に進む平行光成分fを抽出する光学系13と、平行光成分を複数の波長成分光に分光する色分解プリズム14と、分光された各波長成分光をそれぞれ撮像する撮像デバイス20〜24と、各撮像デバイスによって撮像された撮像データから被検部位における各波長成分光の光強度と波長との相関曲線を求め、相関曲線において、被検部位のフィルム厚の変動に対する光強度の感度が大きな波長における光強度と、予め知られている良品の被検部位に対応する部位の相関曲線から得られる当該波長における光強度との差に基づいて、被検部位のフィルム厚を求める処理部4とを備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
反射防止フィルムの欠陥を検出する装置であって、
所定の検査位置に配置された被検体である前記反射防止フィルムの被検部位に少なくとも可視光領域を含む検査光を照射する照射手段と、
前記検査光が前記被検部位で反射してなる反射光から、前記反射防止フィルムのフィルム面の法線方向に対して平行に進む平行光成分を抽出する抽出手段と、
前記平行光成分を複数の波長成分光に分光する分光手段と、
前記分光手段によって分光された各波長成分光をそれぞれ撮像する撮像手段と、
前記撮像手段によって撮像された撮像データから、前記被検部位における前記各波長成分光の光強度と波長との相関曲線を求める相関曲線把握手段と、
前記相関曲線において、予め知られている良品の各波長成分光の光強度と、前記被検部位の各波長成分光の光強度との差に基づいて、前記被検部位のフィルム厚を求めるフィルム厚把握手段と
を備えた装置。
IPC (3件)：
G01N 21/892
, G01B 11/30
, G02F 1/133
G01N21/892 A
, G01B11/30 A
, G02F1/1335
2F065AA49
, 2F065CC02
, 2F065CC31
, 2F065FF41
, 2F065FF51
, 2F065GG03
, 2F065GG24
, 2F065HH02
, 2F065HH12
, 2F065HH13
, 2F065HH14
, 2F065JJ02
, 2F065JJ05
, 2F065JJ25
, 2F065LL00
, 2F065LL20
, 2F065LL21
, 2F065LL33
, 2F065LL46
, 2F065LL59
, 2F065LL67
, 2F065QQ08
, 2F065QQ17
, 2F065QQ24
, 2F065QQ27
, 2F065QQ38
, 2F065QQ41
, 2F065QQ42
, 2G051AA32
, 2G051AB02
, 2G051BA05
, 2G051BA06
, 2G051BA08
, 2G051BA11
, 2G051BB07
, 2G051CA04
, 2G051CA07
, 2G051CB05
, 2G051CC07
, 2G051CC11
, 2G051CC15
, 2G051EA16
, 2G051EA17
, 2G051EB01
, 2G051EB02
, 2H088FA11
, 2H088FA18
, 2H088HA19
, 2H088MA20
, 2H091FA37X
, 2H091GA16
, 2H091LA12
, 2H091LA19
出願人引用 (1件)
審査官引用 (8件)
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