特許
J-GLOBAL ID:200903015198322108
変換装置、放射線検出装置、及び放射線検出システム
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
西山 恵三
, 内尾 裕一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-181890
公開番号(公開出願番号):特開2007-049122
出願日: 2006年06月30日
公開日(公表日): 2007年02月22日
要約:
【課題】 外部からの水分及び不純物による端子部の腐食を抑制し、隣接する端子間でのショートの発生を抑制し、変換装置及び放射線検出装置の信頼性及び製造工程における歩留まりの低下を抑制する。【解決手段】 本発明の変換装置は、絶縁性の基板上に設けられたスイッチング素子と、スイッチング素子上に設けられスイッチング素子に接続された変換素子と、を含む画素と、画素に接続された配線と、を有し、端子部の表面を被覆する透明導電層と、端子部の端部を被覆し、開口を有する保護層と、を含み、端子部が、変換装置の最も上層の金属層によってのみ構成されている。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
絶縁性の基板上に設けられたスイッチング素子と、前記スイッチング素子上に設けられ前記スイッチング素子に接続された変換素子と、を含む画素と、
前記画素に接続された配線と、を有し、
前記配線は外部回路に接続するための端子部を有し、
前記端子部の表面を被覆する透明導電層と、
前記端子部の端部を被覆し、開口を有する保護層と、を含む変換装置において、
前記配線は、外部駆動回路からの前記スイッチング素子を動作させる信号を印加するために前記スイッチング素子に接続される駆動配線、前記変換素子によって発生した電荷を前記スイッチング素子から外部信号処理回路に転送するために前記スイッチング素子に接続される信号配線、前記変換素子にバイアスを印加するために外部電源回路に接続されたバイアス配線、のうちのいずれか1つであり、
前記端子部は、前記変換装置の最も上層の金属層によってのみ構成されていることを特徴とする変換装置。
IPC (3件):
H01L 27/146
, H04N 5/32
, G01T 1/20
FI (5件):
H01L27/14 C
, H04N5/32
, G01T1/20 E
, G01T1/20 G
, G01T1/20 L
Fターム (36件):
2G088EE01
, 2G088FF02
, 2G088GG19
, 2G088GG20
, 2G088JJ05
, 2G088JJ09
, 2G088JJ10
, 2G088JJ31
, 2G088JJ33
, 2G088JJ35
, 2G088JJ37
, 2G088LL11
, 2G088LL12
, 4M118AA08
, 4M118AB01
, 4M118BA05
, 4M118BA07
, 4M118CA05
, 4M118CA07
, 4M118CA11
, 4M118CB06
, 4M118CB07
, 4M118CB14
, 4M118FB03
, 4M118FB09
, 4M118FB13
, 4M118FB18
, 4M118FB24
, 4M118FB25
, 4M118FB26
, 4M118GA10
, 4M118HA25
, 4M118HA26
, 5C024AX12
, 5C024GX07
, 5C024GX09
引用特許:
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