特許
J-GLOBAL ID：200903015307130389
マルチチャンネルQCMセンサデバイス
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
志賀 富士弥 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-089410
公開番号（公開出願番号）：特開2000-283905
出願日： 1999年03月30日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：
【要約】【課題】 水晶基板の表面に複数の電極を隣接させかつ各電極の裏面に対向電極を形成したマルチチャンネルQCMセンサデバイスでは、試料に晒される電極形成部に凹凸部が多くなり、その面を次回の計測のために完全に洗浄するのが難しい。【解決手段】 水晶基板20は、試料に晒される電極21A〜21Dが形成される面を平坦構造とし、この面の洗浄を確実、容易にする。電極21A〜21Dまたはその裏面電極の一方を1つの共通電極にしたこと、試料に晒される面を縁部を残して掘り下げた平坦面にし、この掘り下げ部を試料溜めとすることも含む。
請求項（抜粋）：
水晶基板の表面に複数の電極を隣接させて形成し、各電極の裏面に対向電極を形成し、水晶基板の一方の面の電極表面を試料ガスや試料溶液に晒したときの各電極別の主共振周波数の変化またはインピーダンスの変化から試料の成分を各電極別に検知・定量するマルチチャンネルQCMセンサデバイスにおいて、前記水晶基板は、試料に晒される側の電極形成面を平坦構造とし、この裏面の対向電極が形成される面を掘り下げた凹部をもつ構造としたことを特徴とするマルチチャンネルQCMセンサデバイス。
引用特許：
審査官引用 (12件)
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塩基配列読み取り装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-029497
出願人：テルモ株式会社
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QCMセンサデバイス
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-056745
出願人：北斗電工株式会社, 株式会社明電舎
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特開平2-118434
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引用文献：
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