特許
J-GLOBAL ID：200903015457596530

2軸加速度センサ

発明者：
恒吉 潤

恒吉 潤 について

, 
新荻 正隆

新荻 正隆 について


出願人/特許権者：
セイコーインスツル株式会社

セイコーインスツル株式会社 について


代理人 (1件)： 松下 義治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-049450
公開番号（公開出願番号）：特開2007-225528
出願日： 2006年02月27日
公開日（公表日）： 2007年09月06日
要約：
【課題】 量産性に優れた2軸加速度センサを提供する。【解決手段】 自発分極方向と平行で、かつお互いが直交する様に設けられた2組の対向電極をもつ圧電素子40を少なくとも1つ以上配置し、その自由端面に錘20を連接する。錘20に作用する慣性力で圧電体素子40を剪断変形させ、2軸方向に加速度を分離して検出する。自発分極方向が板厚方向である板材への2.5次元加工と電極形成だけで加工できるセンサ構造としたため、量産性に優れる。圧電材料として点群4mmまたは6mmに分類される材料を用いることで、加速度検出方向の指向性を高める。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
圧電体と、前記圧電体の自発分極方向と平行に、前記圧電体の側面に対向配置された第1の電極対と、前記圧電体の自発分極方向と平行かつ前記第1の電極対と直交する前記圧電体の対向する側面に対向配置された第2の電極対と、からなる圧電素子と、 前記圧電素子の上面に接続された錘と、 前記圧電素子の下面に接続され、前記圧電素子を固定する基板と、 を有する加速度センサ。
IPC (5件)：
G01P 15/09 ,  G01P 15/18 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/187
FI (5件)：
G01P15/09 Z ,  G01P15/00 K ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/18 101D
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 特開200240042号公報
  • 2軸加速度センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-252899   出願人：株式会社トーキン
審査官引用 (10件)
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