特許

J-GLOBAL ID：200903015493661860

炭化珪素とシリコンとの分離方法およびそれに用いる装置

発明者： 富田 孝司 ,  小川 佳代子 ,  梶本 公彦 ,  上山 嗣之
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-132711
公開番号（公開出願番号）：特開2007-302513
出願日： 2006年05月11日
公開日（公表日）： 2007年11月22日
要約：

【課題】シリコンおよび炭化珪素砥粒を含む使用済スラリから、シリコンと炭化珪素を分離抽出して、双方を回収する方法およびそれに用いる装置を提供することを課題とする。【解決手段】不活性ガス雰囲気下、容器中で炭化珪素粒とシリコン粒とを含む混合物を第1温度に加熱してシリコン粒を溶融させ、次いで得られた溶融シリコンを含む融液を第2温度に保持し、次いで融液の上層部位に取り出し治具を浸漬して取り出し治具に炭化珪素を析出させ、析出した炭化珪素を回収し、かつ容器から精製された溶融シリコンを回収することにより炭化珪素とシリコンとを分離することを特徴とする炭化珪素とシリコンとの分離方法により、上記の課題を解決する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

不活性ガス雰囲気下、容器中で炭化珪素粒とシリコン粒とを含む混合物を第1温度に加熱してシリコン粒を溶融させ、次いで得られた溶融シリコンを含む融液を第2温度に保持し、次いで融液の上層部位に取り出し治具を浸漬して取り出し治具に炭化珪素を析出させ、析出した炭化珪素を回収し、かつ容器から精製された溶融シリコンを回収することにより炭化珪素とシリコンとを分離することを特徴とする炭化珪素とシリコンとの分離方法。

IPC (3件)：

C01B 33/037 ,  C01B 31/36 ,  B01D 9/02

FI (8件)：

C01B33/037 ,  C01B31/36 601S ,  B01D9/02 601A ,  B01D9/02 602Z ,  B01D9/02 604 ,  B01D9/02 605 ,  B01D9/02 611A ,  B01D9/02 602B

Fターム (23件)：

4G072AA01 ,  4G072HH01 ,  4G072HH40 ,  4G072JJ02 ,  4G072KK17 ,  4G072LL03 ,  4G072MM03 ,  4G072MM08 ,  4G072UU02 ,  4G146MA14 ,  4G146MB02 ,  4G146NA18 ,  4G146NA25 ,  4G146NB09 ,  4G146NB14 ,  4G146NB18 ,  4G146PA01 ,  4G146PA06 ,  4G146PA10 ,  4G146QA03 ,  4G146QA04 ,  4G146QA06 ,  4G146QA08

引用特許：

出願人引用 (6件)

• 炭化ケイ素およびシリコンの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-198434   出願人：新日本製鐵株式会社
• シリコン結晶成長装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-022866   出願人：シャープ株式会社, 昭和アルミニウム株式会社
• スラリ再生方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-131654   出願人：シャープ株式会社
• シリコンの回収方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-096957   出願人：株式会社日平トヤマ
• 炭化ケイ素単結晶の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-320714   出願人：株式会社東芝
• 金属の精製装置及び精製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-352878   出願人：昭和アルミニウム株式会社, シャープ株式会社