特許
J-GLOBAL ID：200903015660694563

高速回転羽根式フィルターを備えたレーザーアブレーション成膜装置

発明者：
吉武 剛

吉武 剛 について


出願人/特許権者：
独立行政法人科学技術振興機構

独立行政法人科学技術振興機構 について


代理人 (1件)： 西 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-208722
公開番号（公開出願番号）：特開2005-068449
出願日： 2003年08月25日
公開日（公表日）： 2005年03月17日
要約：
【課題】ドロップレットを捕捉する回転羽根式フィルターを用いるレーザーアブレーション成膜装置のより一層の耐久性向上。【解決手段】回転羽根の回転軸がほぼ鉛直であり、回転軸のベアリング機構が回転羽根の上方に位置するごとく回転羽根を回転軸に設置する。回転軸が真空容器の上面に設けたベアリング機構により支持され、かつ上端側に回転駆動機構を設け、回転軸の下端部に回転羽根式フィルターが設置されるようにするとよい。また、回転軸が真空容器の上面に設けたベアリング機構及び下面に設けたベアリング機構により支持され、回転軸の中間部に回転羽根が設置されているようにしてもよい。さらに、飛散微粒子が回転軸とベアリング機構との間隙に侵入することを防止する遮蔽部品を備えるようにするとよい。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ドロップレット除去用回転羽根式フィルターを真空容器内に備えた、レーザーアブレーション成膜装置において、回転羽根の回転軸がほぼ鉛直であり、回転軸のベアリング機構が回転羽根の上方に位置するごとく回転羽根が回転軸に設置されていることを特徴とするレーザーアブレーション成膜装置。
IPC (3件)：
C23C14/28 ,  C23C26/00 ,  H01L21/203
FI (3件)：
C23C14/28 ,  C23C26/00 E ,  H01L21/203 Z
Fターム (21件)：
4K029CA01 ,  4K029DA12 ,  4K029DB20 ,  4K044AA01 ,  4K044AA11 ,  4K044AA13 ,  4K044AB10 ,  4K044BA21 ,  4K044BC14 ,  4K044CA44 ,  4K044CA71 ,  5F103AA10 ,  5F103BB08 ,  5F103BB13 ,  5F103BB16 ,  5F103BB38 ,  5F103BB47 ,  5F103DD27 ,  5F103DD28 ,  5F103DD30 ,  5F103RR06
引用特許：
審査官引用 (8件)
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