特許
J-GLOBAL ID：200903082701262559
スライダの製造方法および装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
星宮 勝美 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-123716
公開番号（公開出願番号）：特開平11-316928
出願日： 1998年05月06日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
要約：
【要約】【課題】 特性のよいスライダを精度よく製造することを可能にすると共に、生産効率および洗浄性を向上させる。【解決手段】 スライダ部分が1列に配列されたバーを製造する製造方法では、まず、スライダ部分が複数列に配列されたウェハより、ウェハブロック21を形成し、サポート板22上に、ウェハブロック21とダミーブロック23を接合する。次に、サポート板22に接合されたウェハブロック21の媒体対向面側における一列分のスライダ部分の媒体対向面に対して所定の加工を施す加工工程と、媒体対向面に対して所定の加工が施された一列分のスライダ部分がウェハブロック21より分離されてバーとなるように、ウェハブロック21とサポート板22とを切断する切断工程とを繰り返し実行する。切断の際には、媒体対向面21aを保護するために、媒体対向面21aにテープ24を貼り付けておく。
請求項（抜粋）：
媒体対向面を有するスライダとなる部分が複数列に配列された素材より、スライダとなる部分が一列に配列され、媒体対向面に対して所定の加工が施されたスライダ集合体を製造するスライダの製造方法であって、前記素材の一端側における一列分のスライダとなる部分の媒体対向面に対して所定の加工を施す加工工程と、媒体対向面に対して所定の加工が施された一列分のスライダとなる部分が前記素材より分離されて前記スライダ集合体となるように、媒体対向面を帯状の保護部材によって覆った状態で、前記素材を切断する切断工程とを備えたことを特徴とするスライダの製造方法。
IPC (4件)：
G11B 5/60
, B28D 5/00
, G11B 5/31
, G11B 21/21 101
G11B 5/60 C
, B28D 5/00 Z
, G11B 5/31 Z
, G11B 21/21 101 L
