特許
J-GLOBAL ID:200903015702491536
画像処理検査方法及び画像処理検査装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
田下 明人 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-288689
公開番号(公開出願番号):特開2002-098648
出願日: 2000年09月22日
公開日(公表日): 2002年04月05日
要約:
【要約】【課題】 銅下地に施した金めっきの良否を正確に検査できる画像処理検査方法及び画像処理検査装置を提供する。【解決手段】 銅下地からの反射光は赤色成分が大きいため、カメラ12の前に緑色系のフィルタ18を配置して銅下地からの赤色成分を吸収させることで、カメラ12にて受光する銅下地からの光を弱める。銅下地と金めっきとの輝度差を大きくし、金めっきと銅下地とを撮像した画像の輝度差から識別するため、銅下地に金めっきが適切に施されているかを正確に検査することができる。
請求項(抜粋):
銅下地に施した金めっきの画像処理検査方法において、前記金めっきに光を照射し、反射光をカメラで撮像し、前記金めっきと銅下地とを撮像した画像の輝度差から識別することを特徴とする画像処理検査方法。
IPC (5件):
G01N 21/956
, G01N 33/20
, G06T 1/00 305
, H01L 21/60 301
, H01L 21/66
FI (5件):
G01N 21/956 B
, G01N 33/20 Q
, G06T 1/00 305 A
, H01L 21/60 301 P
, H01L 21/66 S
Fターム (34件):
2G051AA61
, 2G051AB20
, 2G051AC21
, 2G051BA20
, 2G051BB17
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051CC07
, 2G051DA05
, 2G051EA12
, 2G051EA16
, 2G051EB01
, 2G051EB02
, 2G051ED07
, 2G055AA05
, 2G055AA07
, 2G055BA09
, 2G055BA20
, 2G055CA01
, 2G055CA06
, 2G055FA02
, 4M106BA04
, 4M106CA16
, 4M106DB04
, 4M106DB07
, 5B057AA03
, 5B057BA02
, 5B057BA15
, 5B057BA19
, 5B057DA03
, 5B057DC22
, 5B057DC33
, 5F044AA07
, 5F044EE07
引用特許:
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