マイクロメカニックな構造エレメント

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢野敏雄 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-527812
公開番号（公開出願番号）：特表2002-500961
出願日： 1998年11月26日
公開日（公表日）： 2002年01月15日
要約：

【要約】本発明は、ケイ素基板上に構造化されたマイクロメカニックな少なくとも1つの表面組織と、この少なくとも1つの表面組織を覆う1つのキャップウェーハとを備えている構造エレメントに関する。キャップウェーハ(14)がガラスウェーハ(24)により形成されているようにすることを提案する。

請求項（抜粋）：

ケイ素基板上に構造化されたマイクロメカニックな少なくとも1つの表面組織と、この少なくとも1つの表面組織を覆う1つのキャップウェーハとを備えている構造エレメントにおいて、キャップウェーハ(14)がガラスウェーハ(24)から形成されていることを特徴とする、マイクロメカニックな構造エレメント。

IPC (6件)：

B81C 1/00 , G01C 19/56 , G01P 9/04 , G01P 15/08 , H01L 23/02 , H01L 29/84

FI (6件)：

B81C 1/00 , G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 23/02 J , H01L 29/84 Z , G01P 15/08 P

Fターム (16件)：

2F105BB14 , 2F105BB15 , 2F105CC04 , 2F105CD03 , 2F105CD05 , 4M112AA02 , 4M112BA07 , 4M112CA26 , 4M112DA02 , 4M112DA05 , 4M112DA07 , 4M112DA11 , 4M112DA18 , 4M112EA04 , 4M112EA13 , 4M112GA01

引用特許：

審査官引用 (8件)

密封空洞デバイス及びその方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-113021 出願人：センソノール・エイ・エス
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-114291 出願人：株式会社村田製作所
容量型加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-102304 出願人：豊田工機株式会社

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