特許
J-GLOBAL ID：200903016087549550

針状体の製造方法

発明者：
木下 拡充

木下 拡充 について

, 
窪田 健太郎

窪田 健太郎 について


出願人/特許権者：
凸版印刷株式会社

凸版印刷株式会社 について


代理人 (1件)： 野田 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-209533
公開番号（公開出願番号）：特開2008-035874
出願日： 2006年08月01日
公開日（公表日）： 2008年02月21日
要約：
【課題】先端部の角度を自由に選択可能であり、例えば先端部の角度を小さくし、穿刺抵抗を少なくすることのできる微細な針状体の製造方法を提供すること。【解決手段】アレイ状に一体成型することの出来る微細な針状体1の製造方法であって、(1)結晶面方位が(100)、(110)および(111)のいずれでもないシリコンウエハの表面に対し、複数の針状体を形成すべき箇所を開口部とするようにマスクを施し、エッチングステップとパッシベーションステップを繰り返して、針状体の胴部を形成するドライエッチングを施す工程と、(2)前記のマスクを剥離し、結晶異方性エッチングを施すことによって、針状体の先端部となるシリコン(111)面である上部斜面を形成する工程と、を有してなることを特徴とする針状体1の製造方法。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
アレイ状に一体成型することの出来る微細な針状体の製造方法であって、 (1)結晶面方位が(100)、(110)および(111)のいずれでもないシリコンウエハの表面に対し、複数の針状体を形成すべき箇所を開口部とするようにマスクを施し、エッチングステップとパッシベーションステップを繰り返して、針状体の胴部を形成するドライエッチングを施す工程と、 (2)前記のマスクを剥離し、結晶異方性エッチングを施すことによって、針状体の先端部となるシリコン(111) 面である上部斜面を形成する工程と、 を有してなることを特徴とする針状体の製造方法。
IPC (5件)：
A61M 37/00 ,  A61M 5/32 ,  A61L 31/00 ,  B29C 59/02 ,  B81C 1/00
FI (5件)：
A61M37/00 ,  A61M5/32 ,  A61L31/00 P ,  B29C59/02 B ,  B81C1/00
Fターム (54件)：
3C081AA17 ,  3C081BA08 ,  3C081BA72 ,  3C081CA03 ,  3C081CA14 ,  3C081CA15 ,  3C081CA35 ,  3C081DA03 ,  3C081DA10 ,  3C081EA39 ,  4C066AA09 ,  4C066BB01 ,  4C066CC01 ,  4C066FF03 ,  4C066KK02 ,  4C066KK03 ,  4C066LL16 ,  4C081AC06 ,  4C081AC09 ,  4C081BA13 ,  4C081BA15 ,  4C081BB06 ,  4C081BB07 ,  4C081CA171 ,  4C081CB012 ,  4C081CE02 ,  4C081DA01 ,  4C081DA04 ,  4C081DB07 ,  4C081EA02 ,  4C081EA03 ,  4C167AA71 ,  4C167BB02 ,  4C167BB04 ,  4C167BB05 ,  4C167BB23 ,  4C167BB25 ,  4C167BB39 ,  4C167BB40 ,  4C167CC01 ,  4C167CC05 ,  4C167GG21 ,  4C167GG26 ,  4F209AA01 ,  4F209AA24 ,  4F209AD08 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH63 ,  4F209AJ06 ,  4F209AJ08 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PQ11
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (5件)
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