特許
J-GLOBAL ID：200903016566201061

ビームの測定方法

発明者：
駒形 正

駒形 正 について


出願人/特許権者：
日本電子株式会社

日本電子株式会社 について


代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-079076
公開番号（公開出願番号）：特開平11-271459
出願日： 1998年03月26日
公開日（公表日）： 1999年10月08日
要約：
【要約】【課題】 短時間にカーブフィッティング法によってビームサイズやビーム位置やフォーカス状態を正しく測定することができるビームの測定方法を実現する。【解決手段】 カーブフィッティング処理は、波形メモリー8に記憶されたファラデーカップ6の検出信号が制御CPU9によって読み出され、制御CPU9により、検出信号とモデル化された信号とのフィッティング処理が行われる。この時、事前に測定されたビーム位置が初期値として用いられる。
請求項（抜粋）：
ビームを直線状のエッジを有した部材を横切って走査し、この走査に伴って検出されたビームの信号の変化に対してカーブフィッティングを施し、荷電粒子ビームのビームサイズ、ビーム位置、フォーカス情報の少なくともいずれかを測定するようにしたビームの測定方法において、あらかじめビームの位置を測定し、測定されたビーム位置を初期値としてカーブフィッティング処理を施すようにしたことを特徴とするビーム測定方法。
IPC (2件)：
G01T 1/29 ,  H01L 21/027
FI (2件)：
G01T 1/29 B ,  H01L 21/30 541 N
引用特許：
審査官引用 (16件)
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