特許
J-GLOBAL ID：200903016945361068

導波路型グレーティング及びその製造方法並びにその導波路型グレーティングを用いた光フィルタ及び波長多重光伝送システム

発明者：
吉新 喜市

吉新 喜市 について

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今田 勝大

今田 勝大 について

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竹谷 元

竹谷 元 について

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内川 英興

内川 英興 について


出願人/特許権者：
三菱電機株式会社

三菱電機株式会社 について


代理人 (1件)： 宮田 金雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-076327
公開番号（公開出願番号）：特開平9-269427
出願日： 1996年03月29日
公開日（公表日）： 1997年10月14日
要約：
【要約】【課題】 十分高い屈折率変化が得られる導波路型グレーティングを得、この導波路型グレーティングを適用して高性能の光フィルタと波長多重光伝送システムを得ることを目的とする。【解決手段】 基板1上に、主成分をSiO2とし、Ge、Ti、B、P、Tiの少なくとも1つ以上のドープ元第を含有した石英を、CVD(化学気駄成膜)法で成膜し、所定の導波路幅に形成してなるコア層3と、コア層3を取り囲み、主成分がSiO2の石英を、CVD法で成膜してなるクラッド層2、4とを備えた光導波路6に光を光を照射してコア層3の屈折率を変化させてグレーーィング5を形成する。
請求項（抜粋）：
基板、この基板上に、主成分をSiO2としてGe、Ti、B、P、Tnの少なくとも1つ以上のドープ元素を含有した石英を、CVD(化学気相成膜)法で成膜し、所定の導波路幅に形成してなるコア層と、このコア層を取り囲み、主成分がSiO2の石英を、CVD法で成膜してなるクラッド層とを備えた光導波路に光を照射して上記コア層の屈折率を変化させてグレーーィングを形成したことを特特とする導波路型グレーティング。
IPC (3件)：
G02B 6/122 ,  G02B 6/12 ,  G02B 6/13
FI (3件)：
G02B 6/12 D ,  G02B 6/12 F ,  G02B 6/12 M
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (4件)
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