偏光設計の方法およびそれらの適用例

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：深見久郎 , 森田俊雄 , 仲村義平 , 堀井豊 , 野田久登 , 酒井將行 , 荒川伸夫
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-516572
公開番号（公開出願番号）：特表2009-541742
出願日： 2007年06月21日
公開日（公表日）： 2009年11月26日
要約：

非常に強い縦場を作り出すのに用いられ得るユニークな焦点特性を有する特別な偏光状態が生成される。表面プラズモン励起と組合せると、これらの偏光状態は、無開口近接場スキャニング光学顕微鏡検査システムにおいて用いられ得る。ラジアル偏光ビームが、金属コーティングされる、テーパが設けられた無開口チップを含むプラズモン生成光学ファイバの中に方向付けされる。無開口チップは、ラジアル偏光ビームがプラズモン生成光学ファイバに沿って伝播すると、表面プラズモン波を励起し、当該表面プラズモン波をチップに方向付けする。対物レンズがこの無開口の近傍に位置決めされる試料からの近接場光学信号を収集する。無開口NSOMの潜在的な空間分解能は10nmを超え得る。このような強い場の増強により、10nmを超える分解能で、試料の機械的および化学的組成を計測し得る信頼性のあるナノラマンシステムの開発を可能にする。

請求項（抜粋）：

ビーム生成アセンブリと、光学顕微鏡アセンブリと、信号検出アセンブリとを含む光学システムであって、前記ビーム生成アセンブリはレーザ源を含むとともに、前記レーザ源からのレーザ出力を、前記光学顕微鏡アセンブリへの入力としてラジアル偏光ビームに変換するよう構成され、前記光学顕微鏡アセンブリはプラズモン生成光学ファイバと対物レンズとを含み、前記ビーム生成アセンブリは、前記ラジアル偏光ビームを前記光学顕微鏡アセンブリの前記プラズモン生成光学ファイバの中に方向付けするよう構成され、前記プラズモン生成光学ファイバは、尖部を規定する金属コーティングされた、テーパが設けられた無開口チップを含み、前記無開口チップは、ラジアル偏光ビームが前記ビーム生成アセンブリから前記チップの前記尖部の方向に前記プラズモン生成光学ファイバに沿って伝播すると、表面プラズモン波を励起するとともに前記チップの前記尖部に対して前記表面プラズモン波を方向付けするよう構成され、前記対物レンズは前記無開口チップの前記尖部の近傍に位置決めされる試料から近接場光学信号を収集するとともに、前記近接場光学信号を前記信号検出アセンブリに方向付けするよう構成される、光学システム。

IPC (6件)：

G01N 13/14 , G02F 1/35 , G02B 5/30 , G01N 13/10 , G01N 21/65 , G02B 21/00

FI (9件)：

G01N13/14 101 , G02F1/35 502 , G02B5/30 , G01N13/10 151B , G01N13/10 121A , G01N13/10 111L , G01N13/10 111J , G01N21/65 , G02B21/00

Fターム (41件)：

2G043BA16 , 2G043CA05 , 2G043EA03 , 2G043FA01 , 2G043FA02 , 2G043GA01 , 2G043GB01 , 2G043HA01 , 2G043HA05 , 2G043HA07 , 2G043HA09 , 2G043HA12 , 2G043JA01 , 2G043KA02 , 2G043KA05 , 2G043KA09 , 2G043LA02 , 2G043LA03 , 2H052AA01 , 2H052AA07 , 2H052AB02 , 2H052AC04 , 2H052AC05 , 2H052AC14 , 2H052AC15 , 2H052AC34 , 2H052AF07 , 2H052AF10 , 2H052AF14 , 2H052AF25 , 2H149AA22 , 2H149AB11 , 2H149BA02 , 2H149BA04 , 2H149BA29 , 2H149EA03 , 2K002AA04 , 2K002AB40 , 2K002BA03 , 2K002GA10 , 2K002HA23

引用特許：

審査官引用 (17件)

SPRセンサーおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-351606 出願人：科学技術振興事業団, 財団法人神奈川科学技術アカデミー, 日本電信電話株式会社, エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社
光学ヘッド及び記録再生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-350539 出願人：ソニー株式会社
光学系
公報種別：公表公報出願番号：特願2006-548558 出願人：コーニンクレッカフィリップスエレクトロニクスエヌヴィ

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引用文献：

審査官引用 (2件)

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