特許
J-GLOBAL ID：200903017901415230

大気圧条件下でグロー放電プラズマを生成して維持するための改良された装置

発明者：
ヒンドリック・ウィレム・デ・ヴリーズ

ヒンドリック・ウィレム・デ・ヴリーズ について

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フユヒコ・モリ

フユヒコ・モリ について

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ユーゲン・アルデア

ユーゲン・アルデア について

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モーリチウス・コーネルス・マリア・ファン・デ・サンデン

モーリチウス・コーネルス・マリア・ファン・デ・サンデン について


出願人/特許権者：
フジ フォト フィルム ビー.ブイ.

フジ フォト フィルム ビー.ブイ. について


代理人 (8件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦 ,  実広 信哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-273106
公開番号（公開出願番号）：特開2004-134376
出願日： 2003年07月10日
公開日（公表日）： 2004年04月30日
要約：
【課題】 大気圧グロー放電プラズマを、一様に安定させて生成維持すること。【解決手段】 プラズマ放電スペース(11)内においてグロー放電プラズマを生成して維持するための装置(20)であって、対向電極(13,14)と;放電スペース内へと大気圧条件下で単一ガスまたは混合ガスを供給するためのガス供給手段(12)と;電極を励起するためのAC電力供給手段(15)と;プラズマ内の電流変動を安定化させるための電気的安定化手段(21)と;を具備してなり、安定化手段が、電極と電力供給手段との間に接続されているとともに、プラズマ内に発生した1マイクロ秒以内の電流変動に対して対抗し得るよう構成されている。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
プラズマ放電スペース内においてグロー放電プラズマを生成して維持するための装置であって、 互いに対向してかつ互いに離間して配置された少なくとも2つの電極と; 前記放電スペース内へと大気圧条件下で単一ガスまたは混合ガスを供給するためのガス供給手段と; 前記電極を励起するためのAC電力供給手段と; 前記プラズマ内の電流変動を安定化させるための電気的安定化手段と; を具備してなり、 前記安定化手段が、前記電極と前記電力供給手段との間に接続されているとともに、前記プラズマ内に発生した1マイクロ秒以内の電流変動に対して対抗し得るよう構成されていることを特徴とする装置。
IPC (5件)：
H05H1/24 ,  B01J19/08 ,  C23F4/00 ,  H01L21/205 ,  H05H1/46
FI (5件)：
H05H1/24 ,  B01J19/08 E ,  C23F4/00 A ,  H01L21/205 ,  H05H1/46 R
Fターム (26件)：
4G075AA22 ,  4G075BD14 ,  4G075CA16 ,  4G075CA47 ,  4G075DA03 ,  4G075EB01 ,  4G075EB41 ,  4G075EC21 ,  4K057DA16 ,  4K057DD01 ,  4K057DE14 ,  4K057DE20 ,  4K057DM06 ,  4K057DM16 ,  4K057DM19 ,  4K057DM28 ,  4K057DN01 ,  5F045AA08 ,  5F045AC01 ,  5F045AC07 ,  5F045AC15 ,  5F045AC16 ,  5F045AC17 ,  5F045AE29 ,  5F045EH14 ,  5F045EH19
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 米国特許第5,414,324号明細書
審査官引用 (9件)
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