特許
J-GLOBAL ID：200903018360119450

反射防止膜

発明者：
大谷 実

大谷 実 について

, 
枇榔 竜二

枇榔 竜二 について

, 
福島 浩孝

福島 浩孝 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (2件)： 西山 恵三 ,  内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-178534
公開番号（公開出願番号）：特開2006-003540
出願日： 2004年06月16日
公開日（公表日）： 2006年01月05日
要約：
【課題】 入射角の大きな光線に対しても良好な反射防止効果が得られる紫外光用の反射防止膜を実現すること。【解決手段】 基板側から数えて第1、第3、第5、第7番目の層が高屈折率層、基板側から数えて第2、第4、第6、第8番目の層が低屈折率層であり、第1番目から第8番目までの各層の光学的膜厚をそれぞれd1,d2,d3,d4,d5,d6,d7,d8、波長140nmから300nmの範囲の設計中心波長をλ0、とするとき、 0.45λ0≦d1≦0.65λ0 0.05λ0≦d2≦0.20λ0 0.29λ0≦d3≦0.49λ0 0.01λ0≦d4≦0.15λ0 0.05λ0≦d5≦0.20λ0 0.23λ0≦d6≦0.28λ0 0.23λ0≦d7≦0.28λ0 0.23λ0≦d8≦0.28λ0なる条件を満たすよう構成した。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
高屈折率層、低屈折率層よりなる交互層を複数組有する8層構造の反射防止膜であって、基板側から数えて第1、第3、第5、第7番目の層が高屈折率層、基板側から数えて第2、第4、第6、第8番目の層が低屈折率層であり、波長140nmから300nmの範囲に設計中心波長λ0をもち、前記第1番目から第8番目までの各層の光学的膜厚をそれぞれd1,d2,d3,d4,d5,d6,d7,d8とするとき、 0.45λ0≦d1≦0.65λ0 0.05λ0≦d2≦0.20λ0 0.29λ0≦d3≦0.49λ0 0.01λ0≦d4≦0.15λ0 0.05λ0≦d5≦0.20λ0 0.23λ0≦d6≦0.28λ0 0.23λ0≦d7≦0.28λ0 0.23λ0≦d8≦0.28λ0 なる条件を満たすことを特徴とする反射防止膜。
IPC (3件)：
G02B 1/11 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
G02B1/10 A ,  G03F7/20 501 ,  H01L21/30 515D
Fターム (6件)：
2H097LA10 ,  2K009AA09 ,  2K009BB04 ,  2K009CC03 ,  2K009DD03 ,  5F046CB01
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (5件)
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