波長依存性を考慮した複屈折測定装置及び方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：波多野久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-373232
公開番号（公開出願番号）：特開2003-172691
出願日： 2001年12月06日
公開日（公表日）： 2003年06月20日
要約：

【要約】【課題】高次複屈折に加え、複屈折の波長依存性を考慮した複屈折計測を実現する。【解決手段】複屈折計測装置及び方法は、波形解析により、光信号の波数k、測定対象の複屈折δn、複屈折位相差Δ(k)、厚さd、主軸方位φ、複屈折δnの周波数成分項δn0、分散項δλ、及び位相情報φ(k)をそれぞれ用いて、複屈折位相差Δ(k)を、Δ(k)=2π・δn・d・k=2π・(δn0+δλ)・d・k=2π・δn0・d・k+φ(k)の関係を満たすように求めるものである。

請求項（抜粋）：

測定対象の複屈折に関する情報を担う光信号を取得する複屈折測定光学系と、前記複屈折測定光学系により取得された前記光信号の光強度分布を示す波形データから高次複屈折の次数を含む周波数成分及び波長依存性を担う位相成分を解析し、その解析データから前記高次複屈折に加え、前記波長依存性を示す複屈折を求める解析装置とを有することを特徴とする波長依存性を考慮した複屈折測定装置。

IPC (6件)：

G01N 21/23 , G01J 4/04 , G01M 11/00 , G02B 5/18 , G02B 5/30 , G02F 1/11 505

FI (6件)：

G01N 21/23 , G01J 4/04 Z , G01M 11/00 T , G02B 5/18 , G02B 5/30 , G02F 1/11 505

Fターム (39件)：

2G059AA02 , 2G059BB08 , 2G059BB10 , 2G059BB15 , 2G059EE01 , 2G059EE05 , 2G059FF01 , 2G059GG04 , 2G059GG10 , 2G059HH02 , 2G059HH06 , 2G059JJ01 , 2G059JJ02 , 2G059JJ03 , 2G059JJ05 , 2G059JJ06 , 2G059JJ11 , 2G059JJ17 , 2G059JJ18 , 2G059JJ19 , 2G059KK04 , 2G059MM01 , 2G059MM10 , 2G086EE09 , 2G086EE10 , 2G086EE12 , 2H049AA07 , 2H049AA50 , 2H049AA58 , 2H049BA02 , 2H049BB03 , 2H049BB05 , 2H049BC23 , 2H079AA04 , 2H079AA12 , 2H079BA01 , 2H079BA04 , 2H079CA07 , 2H079KA05

引用特許：

審査官引用 (7件)

複屈折評価装置および複屈折評価方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-322866 出願人：有限会社ユニオプト
複屈折評価装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-145462 出願人：有限会社ユニオプト
複屈折測定装置及び複屈折測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-312008 出願人：株式会社リコー

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引用文献：

審査官引用 (5件)

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