蛍光X線分析装置、蛍光X線分析方法及びプログラム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：三好秀和 , 伊藤正和 , 鈴木壯兵衞
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-129722
公開番号（公開出願番号）：特開2008-286554
出願日： 2007年05月15日
公開日（公表日）： 2008年11月27日
要約：

【課題】試料10の位置ずれを高い信頼性で検出可能な蛍光X線分析装置を提供する。【解決手段】試料10を載置するステージ22と、このステージ22を収納し、開閉可能なカバーが設けられた筐体を有し、試料10にX線を照射して、試料10からの蛍光X線を検出することにより測定を行う測定装置2と、カバーを開けた状態で試料10をステージ22上に載置した後であってカバーを閉める前後に、試料10の同一箇所の画像をそれぞれ撮像し第1及び第2の画像データをそれぞれ取得する撮像装置3と、第1及び第2の画像データを用いて試料10の位置ずれを検出する位置ずれ検出部13と、位置ずれを通知する通知部14とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

試料にX線を照射して、前記試料からの蛍光X線を検出することにより測定を行う測定装置と、第1の時刻及び該第1の時刻とは異なる第2の時刻における、前記試料の同一箇所の画像をそれぞれ第1及び第2の画像データとして取得する撮像装置と、前記第1及び第2の画像データを用いて、第1と第2の時刻間における前記試料の位置ずれを検出する位置ずれ検出部とを備えることを特徴とする蛍光X線分析装置。

IPC (1件)：

G01N 23/223

FI (1件)：

G01N23/223

Fターム (20件)：

2G001AA01 , 2G001BA04 , 2G001CA01 , 2G001CA07 , 2G001CA10 , 2G001FA01 , 2G001FA06 , 2G001FA08 , 2G001GA03 , 2G001GA04 , 2G001GA06 , 2G001HA09 , 2G001HA13 , 2G001HA20 , 2G001JA07 , 2G001JA13 , 2G001JA16 , 2G001KA01 , 2G001PA07 , 2G001PA11

引用特許：

出願人引用 (8件)

蛍光X線分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-345946 出願人：株式会社島津製作所
X線分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-209054 出願人：株式会社堀場製作所
蛍光X線分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-073853 出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社

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審査官引用 (7件)

X線分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-209054 出願人：株式会社堀場製作所
蛍光X線分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-073853 出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
蛍光X線分析計
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-168907 出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社

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