特許
J-GLOBAL ID：200903019736241879

放電プラズマ発生方法及び装置

発明者：
小田川 健二

小田川 健二 について

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小野 茂

小野 茂 について

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堤井 信力

堤井 信力 について

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貞本 満

貞本 満 について


出願人/特許権者：
三井化学株式会社

三井化学株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-110302
公開番号（公開出願番号）：特開2005-129484
出願日： 2004年04月02日
公開日（公表日）： 2005年05月19日
要約：
【課題】従来のコロナトーチを改良し、高価な希ガスを必ずしも必要としない放電プラズマの発生方法を提供する事。【解決手段】【クレーム確定後書き直す必要がありますね】管状電極の外側に当該電極とは絶縁された接地電極を配置した構造とし、管状電極と接地電極との間に電力を印加し、かつ管状電極にガスを導入することで、管状電極のガスの噴き出し部にトーチ状の放電プラズマを発生させる大気圧近傍の圧力下で動作する放電プラズマの発生方法において、管状電極の内部に棒状電極を配置し、管状電極と棒状電極は電気的に導通させ、ガスは管状電極の内壁と棒状電極との間を流し、棒状電極は管状電極に比べガスの下流側に突き出た構造とすることを特徴とする放電プラズマの発生方法。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
管状電極の外側に、当該電極とは絶縁された接地電極を配置し、管状電極と接地電極との間に電力を印加し、かつ管状電極内にガスを導入することで、管状電極のガスの噴き出し部にトーチ状の放電プラズマを発生させる大気圧近傍の圧力下で動作する放電プラズマの発生方法において、管状電極の内部に棒状電極が配置され、管状電極と棒状電極は電気的に導通され、棒状電極は管状電極に比べガスの下流側に突き出た構造を有する放電プラズマ発生装置を用いて、導入するガスを管状電極の内壁と棒状電極との間を流通させることを特徴とする放電プラズマの発生方法。
IPC (3件)：
H05H1/26 ,  C23C16/515 ,  H05H1/30
FI (3件)：
H05H1/26 ,  C23C16/515 ,  H05H1/30
Fターム (7件)：
4K030EA05 ,  4K030FA01 ,  4K030JA09 ,  4K030JA16 ,  4K030KA16 ,  4K030KA17 ,  4K030KA30
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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引用文献：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (3件)

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