特許

J-GLOBAL ID：200903020019880687

カーボンナノチューブを用いた電子放出素子用電極材料およびその製造方法

発明者： 稲住 近 ,  塩崎 秀喜 ,  藤田 大祐 ,  中山 喜萬
出願人/特許権者： 日立造船株式会社 ,  中山 喜萬
代理人 (4件)： 岸本 瑛之助 ,  渡邊 彰 ,  日比 紀彦 ,  清末 康子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-207115
公開番号（公開出願番号）：特開2004-055158
出願日： 2002年07月16日
公開日（公表日）： 2004年02月19日
要約：

【課題】大量生産に向きコスト的に有利であり、また、フィールドエミッション型フラットパネルディスプレイの電極として使用した場合に、駆動電圧を低減しかつ表示画面を細かくすることができる、カーボンナノチューブを用いた電子放出素子用電極材料およびその製造方法を提供する。【解決手段】カーボンナノチューブを用いた電子放出素子用電極材料は、基板3上の触媒粒子を核として成長したカーボンナノチューブ11が導電性フィルム8上に転写されることにより形成されている。導電性フィルム8は、導電層部分がパターン化されたもので、絶縁性の樹脂シート14と、シート14上に設けられた所定形状の導電体15とからなる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板上の触媒粒子を核として成長したカーボンナノチューブが導電層部分がパターン化された導電性フィルム上に転写されることにより形成されている、カーボンナノチューブを用いた電子放出素子用電極材料。

IPC (5件)：

H01J1/304 ,  B82B3/00 ,  H01J9/02 ,  H01J29/04 ,  H01J31/12

FI (5件)：

H01J1/30 F ,  B82B3/00 ,  H01J9/02 B ,  H01J29/04 ,  H01J31/12 C

Fターム (24件)：

5C031DD17 ,  5C036EE03 ,  5C036EE19 ,  5C036EF01 ,  5C036EF06 ,  5C036EF09 ,  5C036EG12 ,  5C036EH11 ,  5C127AA01 ,  5C127BA06 ,  5C127BA09 ,  5C127BA15 ,  5C127BB07 ,  5C127CC03 ,  5C127DD23 ,  5C127EE06 ,  5C127EE15 ,  5C135AA06 ,  5C135AA09 ,  5C135AA15 ,  5C135AB07 ,  5C135AC02 ,  5C135HH06 ,  5C135HH15

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 電子放出源の製造方法、電子放出源及び蛍光発光型表示器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-098386   出願人：双葉電子工業株式会社
• 電界放出型冷陰極装置、その製造方法及び真空マイクロ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-249096   出願人：株式会社東芝
• カーボンナノチューブの製法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-008461   出願人：キヤノン株式会社
• 電界放出型電子放出素子及びその作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-204011   出願人：株式会社リコー
• ナノスケール導電性コネクタの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-215599   出願人：ルーセントテクノロジーズインコーポレイテッド

引用文献：

審査官引用 (1件)

• A Carbon Nanotube Field-Emission Electron Source