特許
J-GLOBAL ID：200903020152323502
膜厚測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯塚 信市
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-232971
公開番号（公開出願番号）：特開2004-069651
出願日： 2002年08月09日
公開日（公表日）： 2004年03月04日
要約：
【課題】例えば半導体製造プロセスやFPD製造プロセス等におけるインライン計測に好適なVAR法利用の膜厚測定装置を提供する。【解決手段】試料の膜厚測定点に対して、様々な照射角度成分を含む測定媒体光を照射する投光側光学系と、多数の光電変換部を受光面上にアレイ状に配置してなる光電変換部アレイ手段を含むと共に、前記試料の膜厚計測点から到来する各照射角度毎の計測媒体光の反射光を前記光電変換部アレイ手段の受光面上に導くレンズを含む受光側光学系と、前記光電変換部アレイ手段の各光電変換部から得られる一連の受光量データに基づいて測定対象となる膜厚を求める演算手段と、を具備し、前記受光側光学系に含まれる前記レンズと前記光電変換部アレイ手段の前記受光面との距離は、当該レンズの焦点距離とほぼ一致するように設定されている。【選択図】 図12
請求項（抜粋）：
試料の膜厚測定点に対して、様々な照射角度成分を含む測定媒体光を照射する投光側光学系と、
多数の光電変換部を受光面上にアレイ状に配置してなる光電変換部アレイ手段を含むと共に、前記試料の膜厚計測点から到来する各照射角度毎の計測媒体光の反射光を前記光電変換部アレイ手段の受光面上に導くレンズを含む受光側光学系と、
前記光電変換部アレイ手段の各光電変換部から得られる一連の受光量データに基づいて測定対象となる膜厚を求める演算手段と、を具備し、
前記受光側光学系に含まれる前記レンズと前記光電変換部アレイ手段の前記受光面との距離は、当該レンズの焦点距離とほぼ一致するように設定されている、ことを特徴とする膜厚計測装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (31件)：
2F065AA30
, 2F065BB01
, 2F065CC17
, 2F065CC25
, 2F065CC31
, 2F065DD11
, 2F065EE00
, 2F065FF42
, 2F065FF49
, 2F065FF51
, 2F065FF61
, 2F065GG06
, 2F065HH08
, 2F065HH12
, 2F065HH14
, 2F065JJ02
, 2F065JJ08
, 2F065JJ25
, 2F065LL00
, 2F065LL04
, 2F065LL10
, 2F065LL20
, 2F065LL28
, 2F065LL30
, 2F065LL33
, 2F065LL37
, 2F065LL46
, 2F065QQ03
, 2F065QQ18
, 2F065QQ23
, 2F065QQ28
審査官引用 (11件)
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特性値測定方法及び装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-200719
出願人：株式会社日立製作所
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特開平3-017505
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特開平4-313006
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