静電チャック

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村暁秀 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-085280
公開番号（公開出願番号）：特開平9-283606
出願日： 1996年04月08日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：

【要約】【課題】静電チャックの温度上昇時にも、絶縁部の抵抗値が過度に低下することを防止し、ハロゲン系ガスのプラズマ性に対する静電チャックの耐蝕性を向上させ、かつその強度および耐熱衝撃性をも向上させること。【解決手段】静電チャック8は、電極3と、電極3の両側にそれぞれ設けられている絶縁部1、2とを備えている。少なくとも吸着面6側の絶縁部1が複合焼結体からなる。この複合焼結体が、実質的に1重量%以上、10重量%以下の炭化珪素と酸化アルミニウムとからなり、複合焼結体の室温における体積固有抵抗値が1×108 Ω・cm以上、1×101 5 Ω・cm以下である。好ましくは、複合焼結体中の炭化珪素粒子の平均粒子径が1μm以下である。

請求項（抜粋）：

電極と、この電極の両側にそれぞれ設けられている絶縁部とを備えている静電チャックであって、少なくとも吸着面側の前記絶縁部が複合焼結体によって形成されており、この複合焼結体が、実質的に1重量%以上、10重量%以下の炭化珪素と酸化アルミニウムとからなり、この複合焼結体の室温における体積固有抵抗値が1×108Ω・cm以上、1×101 5 Ω・cm以下であることを特徴とする、静電チャック。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B23Q 3/15

FI (2件)：

H01L 21/68 R , B23Q 3/15 D

引用特許：

審査官引用 (8件)

静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-085281 出願人：住友大阪セメント株式会社
静電吸着保持装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-193018 出願人：信越化学工業株式会社
静電チャック及びその製造法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-165706 出願人：日立化成工業株式会社

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