特許
J-GLOBAL ID：200903020427094959
インクジェット式記録ヘッド及び圧電体素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
上柳 雅誉
, 須澤 修
, 宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-331757
公開番号（公開出願番号）：特開2008-153674
出願日： 2007年12月25日
公開日（公表日）： 2008年07月03日
要約：
【課題】低電圧で駆動する圧電体素子を提供する。【解決手段】この圧電体素子は、ペロブスカイト結晶構造を持つ圧電体層と当該圧電体層を挟んで配置される上電極および下電極とを備える。そして圧電体層(41)における(001)方位の柱状結晶粒における結晶軸方向が下部電極(32)面の法線方向と所定角(5度から20度)をなすように設定されている。このような構造の圧電体素子は、低電圧において従来品並みの圧電特性を示しそれ以上の電圧で従来品より高い圧電特性を示す。低電圧駆動をさせる圧電体素子として最適である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
下部電極および上部電極の間に結晶化された圧電体層を備える圧電体素子において、
前記圧電体層を構成する結晶のうち(001)面方位の柱状結晶粒における結晶軸方向が前記下部電極面の法線方向から所定角傾いていることを特徴とする圧電体素子。
IPC (9件)：
H01L 41/09
, H01L 41/187
, H01L 41/22
, H01L 41/24
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
, C04B 35/49
, C04B 35/46
H01L41/08 C
, H01L41/18 101D
, H01L41/18 101C
, H01L41/18 101J
, H01L41/08 J
, H01L41/08 U
, H01L41/22 Z
, H01L41/22 A
, B41J3/04 103A
, B41J3/04 103H
, C04B35/49 A
, C04B35/46 K
, C04B35/49 R
2C057AF51
, 2C057AG12
, 2C057AG44
, 2C057AP14
, 2C057AP31
, 2C057AP34
, 2C057AP56
, 2C057AP57
, 2C057AQ02
, 2C057BA04
, 2C057BA14
, 4G031AA03
, 4G031AA09
, 4G031AA11
, 4G031AA12
, 4G031AA14
, 4G031AA32
, 4G031BA10
, 4G031CA01
, 4G031CA02
, 4G031CA03
, 4G031CA04
, 4G031GA02
, 4G031GA04
, 4G031GA05
, 4G031GA06
, 4G031GA11
