特許
J-GLOBAL ID：200903021250670918

オゾン水供給装置

発明者：
大澤 公伸

大澤 公伸 について

, 
三輪 良平

三輪 良平 について


出願人/特許権者：
栗田工業株式会社

栗田工業株式会社 について


代理人 (1件)： 内山 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-209402
公開番号（公開出願番号）：特開2000-037695
出願日： 1998年07月24日
公開日（公表日）： 2000年02月08日
要約：
【要約】【課題】電子材料のウェット洗浄工程などにおいて、オゾン水中のオゾンの自己分解が抑制され、オゾン水を長距離移送しても、移送中におけるオゾン濃度の低下が少なく、ユースポイントに一定した濃度のオゾン水を供給することができ、しかもオゾンの消費量を低減することができるオゾン水供給装置を提供する。【解決手段】純水にオゾンを溶解させてオゾン水を生成するオゾン水溶解装置と、生成したオゾン水を移送するオゾン水供給配管を有するオゾン水供給装置であって、純水又はオゾン水に、炭酸ガス又は有機化合物を溶解させる添加手段を設けてなることを特徴とするオゾン水供給装置。
請求項（抜粋）：
純水にオゾンを溶解させてオゾン水を生成するオゾン水溶解装置と、生成したオゾン水を移送するオゾン水供給配管を有するオゾン水供給装置であって、純水又はオゾン水に、炭酸ガス又は有機化合物を溶解させる添加手段を設けてなることを特徴とするオゾン水供給装置。
IPC (4件)：
C02F 1/78 ,  B08B 5/00 ,  H01L 21/304 647 ,  H01L 21/304 648
FI (4件)：
C02F 1/78 ,  B08B 5/00 Z ,  H01L 21/304 647 Z ,  H01L 21/304 648 G
Fターム (9件)：
3B116AA02 ,  3B116AA03 ,  3B116BB03 ,  3B116BB62 ,  3B116BB89 ,  4D050AA13 ,  4D050AB11 ,  4D050BB02 ,  4D050BD01
引用特許：
審査官引用 (19件)
  • オゾン水処理方法及び装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-215218   出願人：ペルメレック電極株式会社
  • 洗浄方法および洗浄装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-021226   出願人：株式会社フロンテック, 株式会社プレテック
  • ポリオレフィン樹脂成形物の表面改質方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-028440   出願人：豊田合成株式会社
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