機能素子基板の製造方法および機能性パネルの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西教圭一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-206595
公開番号（公開出願番号）：特開2003-022032
出願日： 2001年07月06日
公開日（公表日）： 2003年01月24日
要約：

【要約】【課題】信頼性と携帯性とを同時に備えた機能性パネルおよびその機能性パネルを生産性良く製造する機能性パネルの製造方法を提供する。【解決手段】ガラスから成る基板1上にバリア層2および機能素子層3を形成した機能素子基板10と、ガラスから成る基板11上にバリア層12およびカラーフィルタ層13を形成したカラーフィルタ層20とを液晶層25を介して貼り合わせる。次に、基板1を薄層化して、柔軟性を有する帯状のベースシート6に貼り付ける。そしてベースシート6を移動させながら、基板11の薄層化、基板27の接続、カバーフィルム16の貼り付けおよびベースシート6の分断を連続して行う。ベースシート6を移動させながら各工程を連続して行うので、生産性が向上する。

請求項（抜粋）：

表面に機能素子を形成した基板の裏面から厚さを減少させることで基板を薄層化し、前記薄層化した基板に、柔軟性を有し、薄層化した基板を補強する補強層を形成することを特徴とする機能素子基板の製造方法。

IPC (10件)：

G09F 9/30 310 , G09F 9/30 348 , C23C 30/00 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500 , G02F 1/1345 , G02F 1/1368 , G09F 9/00 338 , G09F 9/00 342 , G09F 9/35

FI (10件)：

G09F 9/30 310 , G09F 9/30 348 Z , C23C 30/00 C , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500 , G02F 1/1345 , G02F 1/1368 , G09F 9/00 338 , G09F 9/00 342 Z , G09F 9/35

Fターム (39件)：

2H088FA27 , 2H088FA28 , 2H088FA30 , 2H088HA01 , 2H088HA05 , 2H088MA20 , 2H090HC09 , 2H090JA07 , 2H090JA13 , 2H090JB02 , 2H090JC01 , 2H090JC11 , 2H090JD13 , 2H090LA04 , 2H092MA17 , 2H092MA35 , 2H092MA37 , 2H092NA17 , 2H092NA27 , 4K044AA12 , 4K044BA12 , 4K044BA18 , 4K044CA07 , 4K044CA13 , 4K044CA14 , 5C094AA15 , 5C094AA43 , 5C094BA43 , 5C094DA02 , 5C094DA14 , 5C094EB01 , 5C094FA04 , 5G435AA17 , 5G435AA18 , 5G435BB12 , 5G435EE35 , 5G435KK05 , 5G435KK09 , 5G435KK10

引用特許：

審査官引用 (8件)

液晶表示装置およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-008243 出願人：シャープ株式会社
半導体装置の作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-053737 出願人：株式会社半導体エネルギー研究所
特開平1-158414

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