特許
J-GLOBAL ID:200903021534540453
レーザー加工用粘着シート及びこれを用いたレーザー加工品の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (4件):
鈴木 崇生
, 梶崎 弘一
, 尾崎 雄三
, 谷口 俊彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-430093
公開番号(公開出願番号):特開2005-187619
出願日: 2003年12月25日
公開日(公表日): 2005年07月14日
要約:
【課題】 レーザー光の紫外吸収アブレーションにより被加工物を加工する場合に、分解物による被加工物表面の汚染を効果的に抑制することのできるレーザー加工用粘着シートを提供すること。また、前記レーザー加工用粘着シートを用いて生産効率よくかつ容易にレーザー加工品を製造する方法を提供すること。【解決手段】 レーザー光の紫外吸収アブレーションにより被加工物を加工する際に使用するレーザー加工用粘着シートにおいて、前記粘着シートは、基材上に少なくとも粘着剤層が設けられているものであり、かつ基材のエッチング率(エッチング速度/エネルギーフルエンス)が0.4〔(μm/pulse)/(J/cm2 )〕以下であることを特徴とするレーザー加工用粘着シート。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
レーザー光の紫外吸収アブレーションにより被加工物を加工する際に使用するレーザー加工用粘着シートにおいて、前記粘着シートは、基材上に少なくとも粘着剤層が設けられているものであり、かつ基材のエッチング率(エッチング速度/エネルギーフルエンス)が0.4〔(μm/pulse)/(J/cm2 )〕以下であることを特徴とするレーザー加工用粘着シート。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (43件):
4J004AA01
, 4J004AA05
, 4J004AA10
, 4J004AA17
, 4J004AB01
, 4J004AB06
, 4J004AB07
, 4J004CA03
, 4J004CA04
, 4J004CA06
, 4J004CC02
, 4J004CC03
, 4J004CD01
, 4J004CD07
, 4J004CD08
, 4J004CD10
, 4J004FA08
, 4J040DF031
, 4J040DF032
, 4J040DF041
, 4J040DF042
, 4J040DF051
, 4J040DF052
, 4J040FA141
, 4J040FA142
, 4J040FA261
, 4J040FA262
, 4J040FA271
, 4J040FA272
, 4J040FA291
, 4J040FA292
, 4J040GA07
, 4J040GA25
, 4J040GA26
, 4J040JA09
, 4J040JB07
, 4J040JB08
, 4J040JB09
, 4J040KA11
, 4J040KA16
, 4J040MB03
, 4J040PA23
, 4J040PA42
引用特許: